基于SOPC技术激光直写数字伺服控制器.PDFVIP

基于SOPC技术的激光直写数字伺服控制器基 二等奖 基于SOPC技术的激光直写数字伺服控制器 大学院校： 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所 参赛队员： 闫磊 程陶 高雅 指导教师： 王雷 一. 设计概述 目前，精密、超精密加工技术的应用已从国防尖端和航空航天等少数部门扩展到国民经 济领域。伴随着半导体产业的不断发展，对超大规模集成电路制造业的核心—激光直写光刻 技术的需求在不断提高。 激光直写光刻技术利用强度可变的激光束对基片表面实施变剂量曝光，其重要环节是利 用计算机控制激光束进行高精度扫描。在光刻过程中，置于载物台的光刻基片随平台移动， 由声光调制器控制激光束的强弱对其进行变剂量曝光，载物工作台所达到的定位精度以及运 动平稳性将直接影响光刻机的性能和光刻元件的质量，因此需要快速高精度的直线运动进给 系统。 直线电机具有很高的位移分辨率，同时其进给传动链长度为零（即 “直接驱动”或 “零传动”），具有较高的动态灵敏度和响应速度，因此取代了传统的“旋转伺服电机 + 滚 珠丝杠”定位机构，成为实现激光直写机载物工作台微米级乃至亚微米级定位的运动伺服核 心。 基于数字式伺服的运动控制器是超精密定位系统的关键。数字式伺服是指系统的闭环控 1 Nios II 嵌入式处理器设计大赛2007—优秀作品 制与调节采用数字技术，所有控制调节实现软件化，可直接输出PWM控制信号或驱动DAC芯片 产生直流驱动电压，经电机驱动器功率放大后驱动直线电机。调节器的全部软件化使控制理 论中许多控制思想和手段得以应用：如矢量控制、参数自适应控制、滑模变结构控制、模糊 控制、神经元网络控制等。同时利用软件很容易完成参数的自优化和故障的自诊断功能，使 系统控制性能大大提高，从而克服了模拟型闭环伺服系统对微弱信号的信噪分离困难，很难 将控制精度提高到0.1% 以上级别，以及容易受温度影响，使位置控制产生零点漂移误差等 缺点。 为抑制激光直写载物工作台运动中的气膜扰动等噪声干扰，实现亚微米级快速定位，本 文提出一种基于 Altera 公司 Nios II 嵌入式软核的直线电机数字伺服运动控制器。设计采 用高性能、低成本的 Cyclone II 系列 FPGA，集成双 Nios II 软核应用系统，完成对位移传 感器（激光干涉仪）信号快速采样和高分辨解码，控制对象（静压气浮导轨及直线电机）运 动状态监控、运动特性频谱分析及数字滤波处理，基于积分分离式 PID 控制算法的 PWM 控制 信号或 DAC 直流电压输出等功能。由于采用了高集成度的 SOPC 技术，本设计功能灵活，大 大减小了电磁干扰，提高了处理速度和控制可靠性，同时降低了开发成本，更易于系统升级 和维护。 二. 功能描述 2.1 系统整体功能描述 在激光直写运动控制系统中，为克服电机转动的负载扰动、气浮导轨的气膜扰动以及驱 动系统的机械共振等噪声，实现载物工作台的高精度定位，本文设计了基于双Nios II软核 的数字伺服运动控制系统。 本闭环伺服系统主要包括四部分：控制对象、位移传感器（反馈环节）、控制单元及执 行器。系统的控制对象为工作于静压气浮导轨之上的载物工作台，它由直线电机驱动；传感 器为RENISHAW激光干涉仪（激光干涉测量尺），它基于激光干涉测量原理，将工作台的位移 信息转换成相应的正交脉冲信号，经信号调理电路，实现脉冲信号逻辑电平转换；控制单元 为集成有双Nios II嵌入式软核处理器的Altera DE2开发平台，它在 μC/OS-II实时操作系统 的调度下，完成信号采集、数字滤波、PID 控制算法、DAC芯片接口、PWM 控制量输出及人 机交互等任务；执行器为电机伺服驱动器，它具有直流电压驱动及PWM 驱动两种工作模式， 控制算法运算的结果可通过DAC接口模块或自定义外设PWM 模块输出，以不同驱动方式控制 电机伺服驱动器工作。数字伺服系统构成示意图如下图2-1所示。 2 基于SOPC技术的激光直写数字伺服控制器基