第4讲静电探针.pdf

第 4 讲 静电探针(2) 2.6 静电探针类型 2.6.1 单探针 2.6.2 双探针 2.6.3 三探针 2.6.4 马赫探针 2.6.5 发射探针 2.6.6 离子能量分析器 2.6.1 单探针 单探针可测的量和需注意的问题： (1) 测悬浮电位 V f 这最简单，只需将探针信号分压取出即可。但它是所有探针测量的基础。 (2) 测电子温度Te 在探针上加载锯齿波扫描电压扫出单探针特性曲线，然后由过渡区半对数曲线斜率读出： T ＝e{d[ln(I+I )] /d V }-1 e si (3) 测电子密度ne 由I 和T 即可得到n si e e I ＝α∙e ∙n ∙A ∙C ( 无磁场情形α＝0.61, 有磁场情形α＝0.49 ) si e p s (4) 测等离子体电位 V p V = V + (T / 2e) ∙[ln(m /(2πm )) +1] ＝V + aT （这里a是鞘电位降系数，一般取2.5 －3.0 ） p f e i e f e 上述这些测量得到的均是平均值。单探针也可用于涨落量的测量。但这要求探针作时间分辨的 测量，因此不能用扫描的方法，而是直接记录探针的输出信号。实际上，在单探针基础上发展 出的三探针方法就是这样一种可同时得到涨落值和平均值的方法。 2.6.2 双探针(1) 在某些情形下，使用单探针有困难，例如，(1) 在玻璃管内进行无电极放电，没有方便的 参考地；(2) 系统即使有参考电极但等离子体 空间电位存在较大的瞬时涨落，使电子温度测量 存在很大的误差；(3) 需要避开强磁场的影响，等等。这时采用双悬浮探针方法较为理想。 双探针由两个全同的单探针组成。扫描偏压加在两探针之间，整个探针系统处悬浮状态，因而 没有净电流输出，对等离子体的干扰也较小。利用双探针可测 电子温度 T 和密度 n ，但得不 e e 到悬浮电位V 和等离子体空间电位 V 。 f p 2.6.2 双探针(2) 双探针的工作原理如图所示。测量两探针间的电流I 随偏压 V 的变化即可得I －V 曲线。由于 D D 探针全同且相距很近 （间距远小于等离子体参数空间梯度标长），故可认为其所处位置具有相同 的等离子体参数值。同时，流出一个tip （设为①）的电流就是流入另一个tip （设为②）电流， 因此二者的工作点反映在 I －V 曲线上必然是正负绝对值相等的点上。由双探针特性曲线可列出 下列方程组： 由此可得： I   A eV I D I i02 I e2 I e1 I i01 , I e1 A1 exp TD  e2 2 e