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D07-7B/ZM Mass Flow Controller 质量流量控制器 D07 Series 特点： 高性能价格比、橡胶密封、模拟电路的质 量流量控制器。 ★ 普通型MFC 产品 ★ 管状分流，使用寿命长 ★ 7A 型的更新换代型 ★ 两年保修 用途 技术性能指标 质量流量控制器（MFC ）用于对气体的质 满量程流量范围( N )…….……….5 SCCM~10 SLM 2 量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子 控制范围……………………..………………2%~100% 工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、 阀类型……………………………………电磁调节阀 光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。 阀初始状态…………………….………………….常闭 准确度……………………………….………±1.5 % F.S 线性……………………………………..±0.5~1.5 % F.S 重复精度…………………………………….±0.2 % F.S 校准 响应时间: 气特性……………..……………1~4 sec 气体质量流量用氮气(N )标定。 电特性……..………..……………10 sec 2 标准状态规定为: 工作温度范围…………………….……………5~45℃ 标准温度0 ℃( 273.15K ) 工作差压………………………………0.1~0.5 MPa 标准压强101325Pa 耐压…………………….………….….……………3 MPa 漏气率……………………………..….1×10-8 SCCS He 通道湿材料………………316L 不锈钢、密封材料 静密封材料……氟橡胶 (或丁晴橡胶、硅橡胶) 动密封材料……氟橡胶 (或丁晴橡胶、硅橡胶 输入和输出 聚四氟乙烯 ) 输入电源………...… +15V, 50mA; -15V, 200mA 接头选择 输入设定电压……..……….…….……0~+5.00V Swagelok…………………..………..1/4”或φ6mm 输出流量检测……...……….…….………0~+5V 重量……………………………….…………..…1.1Kg 北京七星华创电子股份有限公司 质量流量计分公司 地址: 北京市朝阳区酒仙桥东路1 号 http: // 电话：(+8610 信箱: 北京741-3 信箱 E-mail: mfc@ 传真：(+8610 邮编: 100016