大位移交叉环形电极压电驱动器结构优化.PDFVIP

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大位移交叉环形电极压电驱动器结构优化.PDF

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第 卷第 期 压 电 与 声 光 40 4 Vol.40No.4         年 月 2018 8 PIEZOELECTRICS&ACOUSTOOPTICS Au.2018 g 文章编号: ( ) 10042474201804054705    大位移交叉环形电极压电驱动器结构优化 , 12 1 1 1 1 1 刘永刚 ,曹胜捷 ,李冬颖 ,吴 舟 ,张 婷 ,毛亚洲

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