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微电子器件与工艺模拟实验讲义 高云、杨维明、叶葱、汪宝元 湖北大学物理学与电子技术学院 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 实验目录 Experiment 1. Thin Film Resistor: Creating an Thin Film Resistor Using ATHENA 2 Experiment 2. Zener Diode 10 Experiment 3. MS Junction: Creating a M-S Junctiong Using ATLAS 12 Experiment 4. NMOS Device：Creating a NMOS Device using ATHENA 15 Experiment 5. NMOS Device：NMOS Dev