《李碧容》扩散车间的学习总结.docVIP

学习总结 尊敬的领导： 从2011年2月25号匆忙的从福州来到霞浦以及晚上前往江西新余吉阳培训团队的车。经过一段时间的理论学习和车间参观，最后我选择了扩散车间，这个制造太阳能电池核心部分的车间。在这两个来月里，了解了公司的发展历史、企业文化、公司的组织结构及配置及熟识了大部分的同事，通过专业培训人员细心讲解、周边朋友相互探讨研究以及自身的努力，对硅片扩散的原理、工艺流程、具体操作以及硅片异常的处理和防范有了比较全面的了解。在此将这个学习收获归纳总结如下： 1理论学习 扩散是硅片生产工艺流程的第二步骤，其原理就是三氯氧磷在高温（大于600度）下分解生成五氯化磷和五氧化二磷，生成的五氧化二磷在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅和磷原子（且要有足够多的氧气，因为若没有外来的氧气参与是不充分的，生成的五氯化磷是不易分解的，并对硅有腐蚀作用，破坏硅片的表面状态，若有氧气，五氯化磷会进一步分解成五氧化二磷和氯气）。化学方程式：5POCl3 === 3PCl5 + P2O5 , 4 POCl3 + 3O2 === 2P2O5 + 6Cl2 , 2P2O5 + 5Si === 5SiO2 + 4P.扩散的目的就是制造PN结、吸杂和提高少子寿命，在新余吉阳这边是通过磷扩散来完成的，其制作太阳能电池的硅片是P型的。在有磷渗透的一面就形成了N型，没有渗透的一面是P型。