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基于MATLAB Nomarski棱镜优化设计 　　摘要： 根据落射式微分干涉相衬显微镜中Nomarski棱镜的光学原理，通过几何光学运算，推导出棱镜主要结构参数的理论关系式，利用MATLAB程序将关系式转化为二维曲线，再根据关系曲线的变化趋势来确定适合于Nomarski棱镜主要结构的参数取值范围，从而实现优化设计的目的。 　　关键词： 落射式微分干涉； Nomarski棱镜； MATLAB 　　中图分类号： TH 742.4文献标志码： Adoi： 10.3969/j.issn2015.03.011 　　Abstract： According to the optical principle of Nomarski prism of the reflected differential interference contrast microscope， the theoretical relationship of the main parameters of the prism structure is derived. By using MATLAB program， the theoretical relationship is transformed into a 2D curve. Then， according to the changing trends of the 2D curve， the parameter range is confirmed which is suitable for the main structure of Nomarski prism. Finally， the optimized design is achieved. 　　Keywords： reflected differential interference； Nomarski prism； MATLAB 　　引言随着现代信息产业的发展，落射式微分干涉相衬显微镜的应用越来越广泛，其关键技术之一是Nomarski偏振分光棱镜设计[1]。为了满足显微镜光学与机械系统要求，需对Nomarski棱镜主参数进行优化设计，从而使棱镜相干平面与物镜后焦平面重合，以获取对比度较高的伪浮雕图像。本文基于Nomarski棱镜光学原理，推导出棱镜相干平面高度与棱镜主要结构参数的关系，运用MATLAB程序将理论关系转换成关系曲线，寻求最优化棱镜设计与制造工艺方案，进一步推动落射式微分干涉相衬显微镜产业化发展。 　　落射式微分干涉相衬显微术的基本原理微分干涉相衬显微术是一种双光束（偏振光）干涉显微术[2]，落射式微分干涉相衬显微镜的光学系统如图1所示，从光源发出的光线经过聚光系统后进入起偏器，使光束变为线偏振光，线偏振光经半透半反镜反射，入射到Nomarski棱镜。由于棱镜是由两块单晶且晶轴方向互相垂直的楔形棱镜胶合而成的平板[3]，单轴晶体具有双折射特性，可将入射的线偏振光分裂成两束具有某夹角的偏振光，其中一束偏振光的传播速度不随着入射方向的改变而改变，即它的折射率为常数，称为寻常光o光，另一束偏振光的传播速度则随着入射方向的改变而改变，即它的折射率为变数[4]，称为非常光e光，o光与e光的振动方向相互垂直，且振幅相等。当两束光波进入胶合面时，原来的e光由于其电矢量振动方向垂直于入射楔镜的光轴，故变为o光；同样原来的o光变成e光，最后从棱镜折射出两束光的交点轨迹重合于棱镜外的某一平面，该平面称之为相干平面。这两束光经过物镜后，产生具有一定剪切量的平行光，落射到被测物体表面。光线经反射，再次进入棱镜以后两束光重新汇合在一起，根据光的干涉原理，两束光波只有在频率相同、位相差稳定、振动方向一致时才会产生干涉现象，因此从样品反射回来经过Nomarski棱镜后的线偏振光，由于偏振方向相互垂直，故不发生干涉。只要用检偏镜将光振动面都投影到同一平面上，两束光就会发生干涉[5]。在微分干涉相衬显微镜中要观察到具有立体感的浮雕像，必须具备下列条件[6]：（1）经Nomarski棱镜和物镜后的两束光波形成的横向剪切量应小于显微物镜的分辨率，从样品表面反射进入物镜与Nomarski棱镜后的两束光波，能将样品中横向分离值的光学梯度以光强衬度表现出来，而成为可见。 　　（2）从样品表面反射进入物镜与Nomarski棱镜后的两束光波在纵向上产生一个合适的光程差，以便样品纵向厚度也以光强衬度表现出来，呈现阴暗效果。（3）Nomarski棱镜的相干平面必须与物镜后焦平面重合。2Nomarski棱镜主要设计参数及其计算根据落射式微分干涉相衬显微镜中Nomarski棱镜相干平面与物镜后焦平面重合，且与入射线偏振光垂直的准则，建立如图2所示的线