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第八章 习题
8-1某压力表的指示压力(表压力)为1.3Kpa,当时当地的大气压力正好为0.1Mpa,求该被测压力的绝对压力。 注:1Mpa = 106Pa,∴0.1Mpa = 100Kpa
解:绝对压力= 大气压力+表压力
= 100Kpa+1.3Kpa
= 101.3KPa
8-2在图8-2所示的斜管微压计中,计算在刻度比为0.4时对应的读数管的斜度。
解:sin= h2/L = 0.4 = sin = 23.578°
8-3列出你所知道的压力表的名称,指出它们用在什么地方。
压力表中常用弹簧管式、波纹管式、膜片和膜盒式压力表。
1、弹簧管式:如图8-4a是C形弹簧管(亦称波登管),自由端位移Δl=KP,适用测量范围7Mpa~100Mpa
2、波纹筒式:如图8-5a,位移x与所加压力P的关系式:x = KN,测量范围最大范围0~1Mpa,最小范围0~10-6Mpa。
3、膜片与膜盒:中、低压力传感器多采用周边固定的圆形平膜片作为敏感元件,在小变形条件压力P与膜片中心位移xm的关系式:
最低阶固有频率
式中:P—膜片一侧所受的流体压力(Pa)
E—膜片材料的弹性模量(N/m2)
h—膜片厚度(m)
μ—膜片材料的泊松比
R—膜片半径(m)
f0—真空中膜片的最低的因有同频率(HZ)
—膜片材料的密度(Kg/m3)
8-4图8-9是电容式差压变送器测量室结构图,用式(8-7)作为输出公式时,是否真的能从原理上彻底解决输出的非线性问题?为什么?
解:电容式差动式变送器采用了作为输出,从原理上是解决了平板式差动电容输出的非线性问题。而该电容传感器并非是平板式,则是由一空柔度金属薄板制成。所以这个结构虽然非线性得到改善,但输出线性度仍然不能令人满意。
8-5硅杯式压力传感器的主要优点是什么?
硅杯式压力传感器将温度补偿电路和信号变换电路一起做在硅杯上,构成所谓灵巧传感器。单晶硅在500℃以下没有弹性滞后和蠕变,也排除了粘贴应变片引起的问题。因此,经过仔细温度补偿的硅杯压力传感器具有很高的准确度,可达±0.1~0.2%。还具有体积小,动态响应快等优点。
8-6负荷式压力计主要用途是什么?产生压力的方法有哪些?
负荷式压力计主要用于压力表(压力传感器)的检定或标定。产生压力的方法有二种:一是将砝码的重力作用在面积已知的活塞上,从而产生已知压力;二是用示值比较法,即关闭通往油杯等处的阀门,形成一个密闭的压力系统后顺时针方向转动手柄,即可在油路中产生压力。
8-7设计一种能耐高温,耐腐蚀的压力传感器。
从设计要求上能耐高温和耐腐蚀的压力传感器,其压敏元件材料只有硅片最好,压敏元件是由N型单晶硅膜片上位置,采用扩散法形成四个P型压敏电阻,它们构成电桥的四个桥臂,组成机电转换器的一个整体,消除了两体结构的蠕变和迟滞现象。这种压力传感器具有精确度高、体积小的优点。
在N型硅膜片位置用扩散法形成四个P型压敏电阻。首先对硅杯形的膜片在P压力作用下进行应力分析。
要求:膜片中心位移远小于其膜片厚度,在P力作用下其表面应力分布:
径向应力:σr= (N/m2)
切向应力:σt= (N/m2)
式中:P—作用在膜片上的压力 (Pa)
r1—膜片半径 (m)
r—膜片的任意点半径 (m)
t—膜片的厚度 (m)
μ—泊桑比
“-”—承受压力表面的应力分布
“+”—另一表面的应力分布
当r由0 r1时σr的变化情况:
r=0;σr=σt=
r=0.827r1; σr= σt=0
r=r1 σr= σt=
由半导体压阻理论可知:
纵向电阻变化率:=σ纵+σ横
式中:、—纵向与横向压阻系数 (m2/N)
σ纵、σ横—纵向与横向承受的应力 (N/m2)
关于半导体压阻元件的、与在晶体中的取向有关。P型在[111] 最大,[100] 最小;N型在[111] 最步,[100] 最大。
径向位置:=σr+σt 切向位置:=σt+σr
在(001)晶面上:r=0.827r1,晶向[110]处,
则σt=0,=-,=σr,=σr,故=-,
若Rr=Rt=R ,U0=U=Uσr=U…(v)
= U
∴U0∝P
注明:晶向,晶面系数解
对硅晶体取其一晶胞为六面体
[100]—x轴晶向系数
[010]—y轴晶向系数
[001]—z轴晶向系数
在[100]和[010]的对角线上的晶向系数[110],若x轴反向的晶向系数为[T00],在[T00]和[010]的对角线上的晶向系数[T10]
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