压痕和摩擦磨损性能.PDFVIP

第 29 卷 　第 3 期 摩 擦 学 学 报 Vol. 29　No. 3 2009 年 5 月 Tribo logy M ay, 2009 TA2表面磁控溅射 CNx / S iC 薄膜的纳米 压痕与摩擦磨损性能 许晓静 ,卓刘成 ,夏登福 ,韦宝存 ,郝欣妮 (江苏大学 先进成形技术研究所 , 江苏 镇江 　2 120 13) ( ) ( ) 摘 　要 : 采用室温磁控溅射技术在工业纯钛 TA2 表面制备出氮