(光学测量技术)第2章常用光学测量仪器及基本部件.pptx

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第 2 章 常用光学测量仪器 及基本部件;   本章介绍光学测量的基本仪器与部件,它们包括:平行光管、自准直目镜、测微目镜,以及由它们组成的望远镜和显微镜,光具座,精密测角仪与经纬仪,积分球与球形平行光管、刀口仪、单色仪及干涉仪。在介绍仪器的同时,还介绍了光学测量中经常用到的最基本的原理和方法,如:自准直法、阴影法和干涉法。这些是从事光学测量的前提,是合理选择测试设备、设计新的试验方案及组合新的实验设备的基础。最后还介绍了最新的波面相位光电检测技术。;   教学目的   1. 掌握平行光管的作用、光学原理及调校方法。   2. 掌握自准直法的基本原理、三种自准直目镜的基本结构及各自的优缺点。   3. 掌握两种常见测微目镜的结构、细分原理及读数方法。   4. 了解光具座的基本配置及各部件的作用。   5. 掌握精密测角仪与经纬仪的测角原理和各自的使用方法。   6. 了解积分球与球形平行光管的基本结构和用途。   ;   7. 了解刀口阴影法的基本原理及刀口仪的主要结构。   8. 掌握单色仪的用途及棱镜式单色仪的工作原理。   9. 掌握几种有标准镜干涉仪的基本结构和工作原理;了解无标准镜干涉仪的工作原理。   10. 了解波面相位光电检测技术的原理及基本应用。;   技能要求   1. 能够在实验中正确使用平行光管。掌握光学测量中的重要方法———自准直法。   2. 能够在实验中正确使用前置镜、自准直显微镜及测微望远镜和测微显微镜。   3. 能够根据测量要求正确选用光具座的相关配件。   4. 能够利用精密测角仪或经纬仪进行有关角度方面的测 量。   5. 能够根据实际要求选择并使用合适的单色仪。   6. 能够利用干涉仪进行面形偏差、曲率半径等参数的测量。; 2. 1 平 行 光 管;   在几何光学的范围中,当目标为一个点时,射出平行光管的光为一束平行光;当目标点偏离光轴时,平行光管提供了与光轴成一定夹角的平行光束,夹角大小取决于目标点偏离光轴的程度。随着目标尺寸的变大,光束的平行性变差,或者说由平行光管射出的光是不同方向的平行光束的组合。   实际上,由于衍射现象的存在,即使目标点是严格的几何点,由平行光管射出的光,也不可能是理想的平行光,最好的估计也只能说是“准平行光”。尽管如此,为了方便,一般还是说“平行光管给出平行光”,其含义包含上述的全部内容。; 2. 1. 1 平行光管的光学原理及主要结构   一、 平行光管的光学原理图   图 2.1 所示为典型的平行光管光学原理图。;   二、 平行光管的基本结构及主要组成部分   图 2.2 所示为国内常用的 CPG — 550 型平行光管光路结构示意图,并附有高斯目镜和可调式平面反射镜。;   1. 物镜   物镜是平行光管中起折光作用的元件。它把自分划板上的物点发出的发散光束变成平行光束射出,从而给出无限远的“点”目标,即把有限远的物转化为无限远的目标。   ;   根据使用要求的不同,物镜有多种形式,例如:孔径较小,要求不太高时,使用一般的双胶合物镜;当孔径较大时,胶合很困难,一般用双分离的形式,即两片互相分离的镜片 构成物镜;在某些应用场合,希望能调节(改变)物镜的焦距,就要设计可调焦距物镜;对于要求较高的物镜,同时要求复消色差,这时使用复消色差物镜;当要求大视场时,则可使用照相物镜作为平行光管的物镜;在某些要求特大孔径、长焦距的情况下,透射式常难于实现,就可采用反射面作为物镜,即所谓的反射物镜。;   2. 分划板   分划板是置于物镜焦平面上并刻有一定图案的玻璃平板。其上图案的形状,就是平行光管给出无限远目标的形状。目标的方向,取决于给出该目标的图形在分划板上的位置。   常见分划板图案的形式如图 2.3 所示。;   图 2.3 ( a )为十字分划板,其作用是用来调焦和光路共轴的;图 2. 3 ( b )为玻罗板,它与测微目镜或显微镜组组合,用来测定透镜或透镜组的焦距。玻罗板的玻璃基板上用真空镀膜的方法镀有五组线对,各组线对之间距离的名义值分别为 1.000mm 、 2. 000mm 、 4. 000mm 、10. 000mm 和 20. 00mm ,使用时应以出厂的实测值为准;图 2. 3 ( c )为分辨率板,该板有两种(2 号、 3 号),可以用来检验物镜和物镜组件的分辨率,板上有 25 个图案单元,对于 2号板,从第 1 单元到第 25 单元每单元条纹宽度由 20 μ m 递减至 5 μ m ,而 3 号板则由40 μ m 递减至 10 μ m ;图 2. 3 ( d )为星点板,星点直径 0. 05mm ,通过光学系统后产生该星点的衍射图样,根据图样的形状可以定性检查系统成像质量的好坏。;   3. 照明系统   照明系统的作用是为了

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