原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
分析薄膜厚度与成分的卢瑟福背散射技术
刘超卓
（中国石油大学（华东）物理科学与技术学院，东营 ）
２５７０６１
对卢瑟福背散射分析技术的基本原理、试验设备、样品要求及数据处理方法进行了介
摘 要：
绍，并举例分析了硅衬底上钛膜厚度的测定，以及钼衬底上钛钼合金膜的实际组分以及氦离子注入
杂质的分布范围和实际剂量测定。讨论了卢瑟福背散射技术的发展和应用，介绍了弹性反冲、高能
非卢瑟福散射和沟道技术三种分析方法。
卢瑟福背散射；金属薄膜；厚度；合金成分
关键词：
中图分类号： 文献标志码： 文章编号： （ ）
Ｏ４８４．５ Ａ １００１４０１２２０１００７０４３６０５
犚狌狋犺犲狉犳狅狉犱犅犪犮犽狊犮犪狋狋犲狉犻狀 犜犲犮犺狀犻狌犲犳狅狉犃狀犪犾狊犻狀 狋犺犲犜犺犻犮犽狀犲狊狊
犵 狇 狔 犵
犪狀犱犆狅犿 狅狊犻狋犻狅狀狅犳犜犺犻狀犉犻犾犿狊
狆
犔犐犝犆犺犪狅狕犺狌狅
（ ， （ ）， ， ）
ＳｃｈｏｏｌｏｆＰｈｓｉｃｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏ ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＰｅｔｒｏｌｅｕｍｏｆＣｈｉｎａＥａｓｔＣｈｉｎａ Ｄｏｎ ｉｎ ２５７０６１Ｃｈｉｎａ
ｙ ｇｙ ｙ ｇｙｇ
： （ ）
犃犫狊狋狉犪犮狋 Ｔｈｅｅｓｓｅｎｔｉａｌ ｒｉｎｃｉｌｅｏｆＲｕｔｈｅｒｆｏｒｄｂａｃｋｓｃａｔｔｅｒｉｎ ＲＢＳ ａｎａｌｓｉｓａｎｄｔｈｅｅｘｅｒｉｍｅｎｔａｌ
ｐ ｐ ｇ ｙ ｐ
， ，
ａ ａｒａｔｕｓｓａｍ ｌｅｓｒｅｕｅｓｔｓａｎｄｄａｔａｒｏｃｅｓｓｉｎ ｗｅｒｅｒｅｓｅｎｔｅｄ．Ｆｏｒｉｌｌｕｓｔｒａｔｉｏｎｗｉｔｈａ ｌｉｃａｔｉｏｎｓｏｆＲＢＳ ｓｅｖｅｒａｌ
ｐｐ ｐ ｑ ｐ ｇ ｐ ｐｐ
ｅｘｅｒｉｍｅｎｔｓｗｅｒｅｃａｒｒｉｅｄｏｕｔ．Ｔｈｅｔｈｉｃｋｎｅｓｓｏｆｔｉｔａｎｉｕｍｆｉｌｍｏｎｓｉｌｉｃｏｎｓｕｂｓｔｒａｔｅｗａｓｏｂｔａｉｎｅｄ．Ｔｈｅｃｏｍｏｓｉｔｉｏｎｏｆ
ｐ ｐ
ｔｉｔａｎｉｕｍｍｏｌｂｄｅｎｕｍａｌｌｏ ｆｉｌｍｏｎｍｏｌｂｄｅｎｕｍｓｕｂｓｔｒａｔｅｗａｓｄｅｔｅｒｍｉｎｅｄ．Ａｎｄｔｈｅｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎｏｆｉｍ ｌａｎｔｅｄｈｅｌｉｕｍ
ｙ ｙ ｙ ｐ
，
ｉｏｎｓａｓｔｈｅｉｍ ｕｒｉｔ ｓｕｃｈａｓｔｈｅｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎｒａｎｅａｎｄａｃｔｕａｌｄｏｓｅｉｎｔｈｅａｌｌｏ ｆｉｌｍｗａｓａｌｓｏａｃｈｉｅｖｅｄ．Ａｓｔｈｅ
ｐ ｙ
文档评论（0）