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PECVD设备 PECVD等离子体源简图 PECVD电池片检验标准 看颜色是否合格（合格的颜色为深蓝，蓝色，淡蓝） 色差和水印不超过整体面积的5% 镀膜后的折射率在2.0—2.20，膜厚在80 ±5nm（生产过程中取每批次任意6片进行折射率和膜厚的测定） 镀膜后电池片 PECVD异常处理 Thank you! 冷却水＊６ 石英管＊６ 温度设置 速度设置 气压设置 设置功率 实际功率 反射比率 角阀 气体流量 冷却水＊４ 微波发生器 真空腔 基片 正常片 常见缺陷 表面发白 表面脏片 色差 白点 水纹片 重新开腔擦拭密封圈或更换密封圈、更换或重装石英管或其管口密封圈，严重时用氦检仪做漏气点检查并排除异常。 腔体有漏气 压强达不到工艺要求 有挂钩变形的载板要及时更换，传动轴擦拭或有异常请设备检修。 载板挂钩变形或传动轴异常 腔体内有硅片碎片 调整NH3和SiH4流量比例使折射率达到要求。 折射率不在范围内 沉压后颜色异常 停止工艺，重新安装微波天线或更换石英管。 微波反射功率异常，或微波有泄漏 镀膜颜色不稳定 调整带速至颜色符合要求，偏紫增加带速，偏蓝降低带速。 氮化硅层厚度偏离正常范围 整体镀膜颜色不符合要求 措施 诊断 异常 PECVD 部门：电池片部 PECVD的介绍 PECVD: Plasma Enhance Chemical Vapour D