表面粗糙度测量仪的检定一.PPTVIP

计量器具检定与调修 第六章 表面粗糙度测量仪的检定与调修 第三节 表面粗糙度测量仪的检定一 主讲教师： 程二九 【教学内容】 ●检定前的准备工作 ●传感器触针针尖圆弧半径及角度的检定 ●传感器触针静测力及其变化率的检定 ●传感器导头压力的检定 ●传感器导头工作面粗糙度的检定 ●传感器导头圆弧半径的检定 第三节 表面粗糙度测量仪的检定一 检定前的准备：校准触针式仪器的室内温度应在(20±3)0C范围内，湿度不超过65％。校准室内应无影响测量的灰尘、振动、噪声、气流、腐蚀性气体和较强磁场。被校仪器及校准用测量设备在室内连续平衡温度的时间不少于4h。校准前，被校仪器连续通电预热时间不少于30min。 1.表面粗糙度测量仪检定前的准备工作 2.表面粗糙度测量仪传感器触针针尖圆弧半径及角度的检定 【要求】传感器触针针尖圆弧半径：2±0.5um 、2±0.5um 、10±2.5um 。圆锥角度 。棱锥形针尖半径与角度要求同上。 表面粗糙度测量仪传感器触针 2.表面粗糙度测量仪传感器触针针尖圆弧半径及角度的检定 【检定方法】检定时用扫描电镜、400倍以上显微镜、刀刃法专用测量设备进行检定。根据计量检定与调修实训室的设备，可以选用400倍的万能工具显微镜进行触针针尖圆弧半径和圆锥角度的检定。利用万能工具显微镜的测角目镜对触针圆锥角度进行检定时，旋转测角目镜手轮，可使米字线分划板和度盘一起做3600的转动。用米字线瞄准触针圆锥轮廓，通过读数显微镜对度盘进行读数，读出米字线分划板的转角，即为被测的角度值。 2.表面粗糙度测量仪传感器触针针尖圆弧半径及角度的检定 【检定方法】运用万能工具显微镜对触针针尖圆弧半径进行检定时，可以利用万能工具显微镜的主显微镜在被测的触针针尖圆弧上测出任意三点的坐标值（即X、Y方向上的坐标值），再通过计算机绘图软件，将这三个点绘制成一段圆弧，最后利用计算机绘图软件的测量工具测量出圆弧的半径值，即可得到被检定的传感器触针圆弧的半径值。 2.表面粗糙度测量仪传感器触针针尖圆弧半径及角度的检定 【例如】通过万能工具显微镜测出工件圆弧上任意的三点的坐标值。 被测工件 工件圆弧上任意三点的坐标值 X Y 1 86.885 35.343 2 95.459 35.560 3 102.396 35.301 2.表面粗糙度测量仪传感器触针针尖圆弧半径及角度的检定 【例如】在AutoCAD中绘制出这三个点，绘制出圆弧并测量出该圆弧的半径值，最后得到圆弧的半径值即为工件圆弧的半径值为R123.93mm。 圆弧上三点以及圆弧半径值 3.表面粗糙度测量仪传感器触针静测力及其变化率的检定 【要求】传感器触针静态测量力及其变化率不超过表中的规定。 传感器静态测量力及其变化率 触针针尖半径标称值/um 2 5 10 触针静态测量力在触针平均高度上的最大值/N 0.00075 0.004 0.016 静态测量力变化率的最大值/（N/m） 35 200 800 【检定方法】将触针针尖轻轻地压在电子天平上（对于导头式仪器，导头应悬空），通过立柱的升降手轮调整传感器的高低位置，使传感器触针位移显示指向零位。读出天平的示值，再乘以重力加速度g，即为触针静态测量力。 3.表面粗糙度测量仪传感器触针静测力及其变化率的检定 电子天平 3.表面粗糙度测量仪传感器触针静测力及其变化率的检定 传感器导头与触针 3.表面粗糙度测量仪传感器触针静测力及其变化率的检定 传感器触针位移为0时，触针位移显示浮标到达此“0”位。 传感器触针零位显示窗口 传感器触针静态测量力检定示意图 【检定方法】检定触针静态测量力变化率时，选用仪器最大量程，调整传感器的高低位置，当针尖在上下两个极限位置时，如图所示浮标在触针位移指示窗口+10um处为上极限位置，浮标在触针位移指示窗口-10um处为下极限位置，分别读出电子天平的示值。计算两示值与重力加速度乘积，即得上下两极限位置静态测量力。通过静态测量力计算出静态测量力的变化率。 3.表面粗糙度测量仪传感器触针静测力及其变化率的检定 3.表面粗糙度测量仪传感器触针静测力及其变化率的检定 触针位移指示窗口+10um处为上极限位置 触针位移指示窗口-10um处为下极限位置 3.表面粗糙度测量仪传感器触针静测力及其变化率的检定 式中：F1，F2——上下极限位置静态测量力，单位N; F0——工作点的静态测量力，单位N； h1，h2——上下两极限位置偏离工作点的距离，单位m; η1，η2——静态测量力的变化率，单位N/m。 【要求】表面粗糙度测量仪传感器导头压力范围：0.15N-0.3N。 【检定方