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扩散在线自动化 Diffusion Processing Automation System 规格参数（Specification） 型号（Model）: RTA-DIA20000HP-R/L 产能（Throughput）: 20000pcs/h 碎片率（Breakage rate）：≤0.02% 上线率（Uptime）: ≥98.5% 技术特点（Features） 上下料：花篮 Loading and unloading: Cassette 输出：石英舟 Output: quartz boat 可选方阻检测 Optional online square resistance 可选MES接口和远程诊断 Optio