偏压和测试环境对新型.PDFVIP

下载本文档

5
0
约3.41万字
约 7页
2018-09-13 发布于湖北
举报
版权申诉

偏压和测试环境对新型.PDF

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

第卷第期摩擦学学报３３　２Ｖｏｌ３３　Ｎｏ２年月Ｔｒｉｂｏｌｏｇｙ，２０１３３Ｍａｒ２０１３ＭｏＳ－Ｔｉ偏压及测试环境对新型２复合膜摩擦学性能的影响   秦晓鹏，柯培玲，汪爱英（中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波市海洋防护材料与工程技术重点实验室，浙江宁波）　３１５２０１摘　要：采用新型高功率脉冲复合磁控溅射技术制备ＭｏＳ－Ｔｉ复合膜，并研究基体偏压和测试环境对复合膜摩擦２学性能的影响结果表明：制备的复合膜表面呈现颗粒状结构，在薄膜表层与反应形成氧化物有效．ＭｏＳ－ＴｉＴｉＯ２抑制的氧化随着基体负偏压从增大到，复合膜的原子比逐渐减小在偏压下，颗ＭｏＳ．０Ｖ－４００ＶＳ／Ｍｏ．－３００Ｖ２粒堆积最为紧密，薄膜硬度和弹性模量达到最大值，分别为９．７和１３７．１ＧＰａ，并具有最低的平均摩擦系数值－７３（００４）和磨损率［（１０ｍｍ／（Ｎ ·ｍ）］．多种测试环境下的摩擦研究显示：在室温大气环境下复合膜的摩擦学性能与其结构的致密性紧密相关，而在以及不同湿度环境下薄膜表现出的优异摩擦学性能则归因于在摩擦过程中有Ｎ２效形成的转移膜贡献．关键词：高功率脉冲复合磁控溅射；ＭｏＳ－Ｔｉ复合膜；基体偏压；摩擦学性能２中图分类号：文献标志码：文章编号：（）ＴＨ１１７．３Ａ１００４－０５９５２０１３０２－０１６２－０７ＥｆｆｅｃｔｏｆＢｉａｓａｎｄＴｅｓｔＥｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔｓｏｎＴｒｉｂｏｌｏｇｉｃａｌＢｅｈａｖｉｏｒｏｆＭｏＳ－ＴｉＣｏｍｐｏｓｉｔｅＣｏａｔｉｎｇｓ２