真空系统镀膜设备和表面分析.pptx

一般地说，它是利用一种探测束——如电子束、 离子束、光子束、中性粒子束等，有时还加上电场、磁场、热等的作用，来探测材料的形貌、化学组成、原子结构、原子状态、电子状态等方面的信息。 ;探测粒子 ;探测粒子 ;探测粒子 ;探测粒子 ;部分表面分析设备的分析范围 ;;为了使被研究的样品不被周围气氛所污染，获取“原子清洁”的表面，表面分析过程往往是在真空或超高真空中进行的。目前，人们所广泛使用的很多表面分析设备都具有真空系统。 薄膜制备设备往往涉及真空系统。; 真空：低于一个大气压的气体状态。 1643年，意大利物理学家托里拆利(E.Torricelli) 首创著名的大气压实验，获得真空。 自然真空：气压随海拔高度增加而减小，存在于宇 宙空间。 人为真空：用真空泵抽掉容器中的气体。;真空量度单位 1标准大气压=760mmHg=760(Torr) 1标准大气压=1.013x105 Pa 1Torr=133.3Pa ;真空单位 Atmospheres (atm): Scale relative to our atmospheric pressure as 1 atm Pascal (Pa): SI unit equal to N/m2 mBar: Equal to 1x10-8 Pa. Torr or mmHg: Most commonly used pressure unit, based on mercury vacuum gauges.;真空区域的划分 目前尚无统一规定，常见的划分为： 粗真空 低真空 高真空 超高真空 极高真空 ;真空的划分;真空技术的应用 电子技术、航空航天技术、加速器、表面物理、微电子、材料科学、医学、化工、工农业生产、日常生活等各个领域。;真空的意义 ;真空的意义 ;Degree of Vacuum;真空的获得 ;真空获得—真空泵;真空泵的分类;真空泵的主要参数;极限压强 (极限真空) 最高工作压强 工作压强范围（ ） 泵能正常工作的压强范围 几种常用真空泵的工作压强范围 旋片机械泵 吸附泵 扩散泵 涡轮分子泵 溅射离子泵 低温泵 ; 几种常用真空泵的工作原理1. 旋片机械泵;真空技术原理;旋片式机械泵;2. 油扩散泵;3.涡轮分子泵;真空技术原理;真空技术原理;真空技术原理;真空的获得 涡轮分子泵 ;真空的获得 溅射离子泵 ;真空的获得 溅射离子泵 ;真空的获得 钛升华泵 ;真空的获得 真空中所适用的材料 ;真空的获得 ;Materials to be Avoided (high vapor pressures) Zn, Cd: especially be careful of fasteners, bolts Brass Certain solders Any type of grease or oils ;真空的获得 ;真空的获得 ;真空的获得 ; 真空的测量—真空计1. 绝对真空计;2. 相对真空计;真空的测量 ;真空的测量 ;2.2 热阴极电离真空计（电离规） 原理：电子与气体分子碰撞引起分子电离，形成电子和正离，电子最终被加速极收集，正离子被收集极接收形成离子流： I+ = kIep = cp 其中，k称为电离计的灵敏度，是单位电子电流、单位压强下的离子流。 测量范围：1.33×10-1 ～1.33×10-5 Pa 测量下限：高速电子打到加速极G → G产生软x射线 →软x射线射向收集极c → 收集极c产生光电发射 → 产生电子流Ix → Ix与I+方向相反，与压强无关。 ;电离计线路图;理论解释： 当p较高时，kx / p k，此时 当p很低时，kx / p k，此时 与压强无关 ;2.3 B—A真空计 (超高真空热阴极电离计);真空的测量 ;真空的测量 质谱仪 ;;真空的测量 ;真空镀膜;真空系统(DM—300镀膜机);蒸发系统;Ultrahigh vacuum scanning electron microscope with micro-probe RHEED and scanning reflection electron micros