高精度光学表面的ofhc铜反射镜抛光技术.pdfVIP

维普资讯 第 25卷第 1期 光 电工程 VoL 25， NO．1 l998年 2月 0pto—ElectronicEngineerimz Feb，1998 高精度光学表面的 OFHC 射镜抛光技术 a-x- ． 周晨波 杨 惠林 陈 强 伍 凡 (中 国科 学院光 电技术研究所 ，成 都 ，610209) 要 已研制 出用5-~ (3．8m)波段先辐射的特殊光学元件样品—— 高精度光学 面质量的无氧 高导(OFHC)4~I平面反射镜 。本文描速 了此种铜镜基底 的抛光技术 。 讨论 了材料的选择 、基底成彤精磨及抛光工艺研 究，培 出