S与无尘室管理.pptVIP

进风口 回风口 无尘室管理 1.什么是无尘室 OA 空气由空调箱经风管与无尘室内之HEPA进入无尘室，并由高架地板或侧面回风。 原理图 现场实景图 70个 7个 0.7个 -- 0.5μm 10000个 1000个 100个 30个 0.3μm C-100，000 C-10，000 C-1，000 C-100 粒徑 3.无尘室的天敌—异物与静电 (1)异物 A.异物大小 它以?m尺寸為單位,人的肉眼可见尺寸为10?m,光学可见的范围为0.1~10 ?m.人的头发直径大约在50~70 ?m ,TFT的配线大约在6 ?m的程度。 Array无尘室(全室)管理等级订定100。 Panel管理等级订定100~10000。 Module部份的管理等级订定10000~100000。 2.无尘室管控等级 利用尘度测试仪，距高架地板1.2m处，每3m*3m测定一点，一次3min,取样 1cfm,做3次取平均值。 B.异 物 产 生 之 源 a.由厂房外产生 付着在物品上进入 人员携入 从环境破坏处进入 无尘室 人 机 料 法 b.由厂房内产生 摩擦产生金属、塑料 加工时所使用的托盘及通箱 文具纸张纸类，随时间会慢慢的破损 人行动时产生风，因而将异物卷起向上扩散 C.异 物 防止三 原 则 不带入 不要携带任何的异物进入无尘室，进出无尘室的东西须全数实施除尘对策。 不产生 不要让无尘室内的保养作业、人的行动、设备及异物发尘。 不残留 要全部彻底除去无尘室内的异物，并从根源上去除.彻底落实 6S管理. A.静电产生原因 原子由(带正电、质量重、不易移动的)原子核与核外（带负电、质量轻、绕原 子核运动）的电子所组成 。物体带电是因为最外层电子的转移（电荷分离） 。当对物体施加一定能量时，使本来正负电荷量相等而处于中性状态的物体变成其中任何一方过剩的状态，这过剩的电量就称为电荷(静电荷)。 B.静电危害 静电是物体表面静止的电荷。蓄积在物体上的电荷，会在一次放电中将能量完全释放，在没有采取静电防护措施的工作环境中我们所带的静电电位与IC接触，几乎所有的IC都将被破坏。 (2)静电 静电的消除 (1)、接地 a、将所有导体连接在一起，然后接地，并保持低的接地电阻， 使导 体上的电荷迅速向大地散逸，不致引起静电放电的危害。 b、导电性设备实施接地。 静电的消除 (2)加湿 在高湿度(R.H.65%)环境中，物质表面具亲水性(Hygroscopicity),容易吸附空气中的水份，进而降低物质表面电阻， 增加静电向大地散逸的速率。 静电的消除 (3)使用抗静电材料 通常电阻值愈低的物质，其静电散逸速度愈快，不易累积静电，反之，电阻值愈高的物质，其静电散逸速度愈慢，容易累积很高的静电。 静电的消除 (4)、使用静电消除器 将空气电离产生离子，由于异性离子互相吸引，使带静电物体的电荷被中和，达到静电消除的目的。 提醒： 作业前应确认开关是否开启。 离子出风口 4.无尘室的管理要求 A.无尘服穿着规范 a.无尘帽穿戴 注意鼻子、眉毛、头发不可外露 注意调整头套后部松紧至适当紧度 b.无尘服穿着 将无尘帽下摆扎入无尘服衣领内 注意要扣紧衣领 c.无尘鞋穿着 注意拉好无尘鞋拉链 注意裤管需覆盖鞋筒，不可露出外服 d.戴手套 1.注意不可有外服与皮肤外露的现象; 2.无尘室内不得任意脱除; e.外观检查 穿戴整齐后进入无尘室不得脱除. 松紧带应扣紧. * *