元胞方法和蒙特卡洛方法相结合薄膜生长过程模拟阮聪孙.PDFVIP

元胞方法与蒙特卡洛方法相结合的薄膜生长过程模拟 阮聪 孙晓民 宋亦旭 CellularmethodcombinedwithMonteCarlomethodtosimulate the thin filmgrowth processes RuanCong SunXiao-Min SongYi-Xu 引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,038201(2015) DOI: 10.7498/aps.64.038201 在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.64.038201 当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2015/V64/I3 您可能感兴趣的其他文章 Articlesyoumaybeinterestedin 结合实际刻蚀数据的离子刻蚀产额优化建模方法 Anoptimizationmethodforionetchingyieldmodelingcombined with factual etchingdata 物理学报.2014,63(24): 248201 /10.7498/aps.63.248201 基于刻蚀速率匹配的离子刻蚀产额优化建模方法 Anoptimizationmethodforionetchingyieldmodelingbased on etc