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工程与材料类测试服务收费标准 序号 仪器名称 收费标准 标准备注 耗材费 备注 1 低速风洞 2000 元/日 2 PIV 2000 元/日 3 PDA 2000 元/日 4 SpeedCam 500 元/日 5 高速摄影Photron 1200 元/日 外借设备，如管理员去拍摄，每天另加120元 6 热线风速仪 800 元/日 7 红外热像仪 750 元/日 8 气相沉积制膜PD-220 1000 元/次 SiN、SiO2：δ500nm:500 超出部分200nm/100 9 真空蒸发镀膜VPC-410 300 元/次 蒸金：δ50nm：50 、100δ50nm：80 超出部分100nm/100 10 磁控溅射制膜SP-2 600 元/次 铝、钛、镍、二氧化硅等材料：δ100nm 125 超出部分100nm/50其中，铂100nm/100； 铂材料：δ200nm 300 所列材料费为溅射一层膜的价格，多层膜价格累加计算。 11 反应离子刻蚀ME-3A 300/H 元/次 150/H 12 离子束刻蚀M431-6/UM 600 元/次 150/H 13 痒化/扩散M5111-2/UM 350 元/次 硅片氧化： δ500nm：200 超出部分200nm/50 14 双面光刻 ( ABM ) 300/H 元/次 光刻胶制膜，显影、加热等：120/H 不含制模板 15 光刻 (U2000-25) 250/H 元/次 光刻胶制膜、显影、加热等：120/H 同上 16 微振动测量 ( MDL-221) 300/H 元/次 17 激光加工平台 450/H 元/次 18 轮廓仪 (WYKO) 300/H 元/次 19 台阶仪 (XP-1) 30/条 元/次 扫描一条线 20 万能工具显微镜、卧式测长仪、粗糙度仪等几何量测量仪器 60 元/小时 21 API T3激光跟踪仪 1600 元/日 22 Agilent 5530激光干涉仪 600 元/日 23 三坐标测量机 120 元/小时 接触式测头检测 240 元/小时 激光扫描检测） 24 Pyris 1 DSC差示 100 元/样品 常温-700度 扫描量热分析系统 200 元/样品 -160度-常温 25 HotDisk热物性分析仪 250 元/样品 块状固体、粉末、粘稠液体热导测试 固体质量比热测试 350 元/样品 固体各向异性测试 薄膜热导测试 26 激光热导仪 200 元/1个温度点 -120度-1000度热扩散测试 1、测试中若需更换炉体，则每次测试费不足500元按500元计 250 元/一个温度点 -120度-1000度热导测试 2、液氮、保护气体等消耗品费用按实际用量，另行计算 27 环境扫描电子显微镜 100元/只 高真空 蒸金:150元/盘(100秒) EDS：点分析100元/只；线扫描150元/只；Mapping 200元/只； 150元/只 低真空 蒸碳:100元/次 WDS元素定量分析：常量50元/元素；超轻元素：100元/元素； 200元/只 环境真空 导电胶带：5元/次 显微拉伸/压缩/弯曲原位观测：300元/小时。 28 场发射透射电子显微镜 450元/小时 TEM成像观察 高分辨像:30元/张 电子衍射：30元/张； STEM、HAADF成像观察：600元/只样品起； STEM/HAADA像：30元/张 EDS分析（TEM模式）：机时费+100元/谱； 600元/只 电子衍射 铜网10元/只；钼网20元/只； EDS POINTID(STEM模式）：600元/只样品起+100元/点 含照片2张 高分辨成像 超薄20元/只；微栅20元/只；其他另计 EDS LINESCAN(STEM模式）：600元/只样品起+200元/线 EDS MAPPING 面分布：2100元/只样品 29 TEM样品制备及清洗设备 100元/小时 30 精密切割机 30元/件；或100元/小时 31 热压镶嵌机 30元/件（不含耗材）；60/件（含耗材） 32 真空冷镶嵌机 30元/件；60/件（含耗材） 33 自动全程控研磨抛光机 100元/件(含耗材);200元/小时(含耗材） 34 电解抛光机 30元/件(不含耗材)或60元/小时(含耗材） 35 电解双喷抛光机 30元/件(不含耗材)或60元/小时(含耗材） 36 光学显微镜 60元/件；或180元/小时 37 体式显微镜 30元/件；或100元/小时 38 立体显微镜 30元/只；或100元/小时 39 万能硬度计 100元/