先进制造技术(第二版)第7章 微米／纳米技术.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 返回目录 第7章 微米／纳米技术  7.1 微米技术 7.2 纳米技术 7.3 纳米技术的发展 * 返回目录 第7章 微米／纳米技术  7.1 微米技术 7.1.1 概述 微米技术是指在微米级(0.1～100μm)的材料、设计、制造、测量、控制和应用技术。目前，微米技术的研究与应用涉及以下几方面： 1．微小尺度的设计理论 2．微细加工技术 3．精密测试技术 4．微系统技术 * 返回目录 第7章 微米／纳米技术  7.1 微米技术 7.1.2 微型机械 1．概念 按照其特征尺寸可以微小的机械划分为1～10mm的小型机械，1μm～lmm的微型机械，以及lnm～lμm的纳米机械。 微型机械(Micro Electro Mechanical Systems，MEMS)是指可以批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路，甚至外围接口、通讯电路和电源等于一体的微型电子机械系统。实际上也是指微小尺寸范围的装置和系统的设计、研究和制造，以及它们与宏观世界的联接(界面)和集成。MEMS产品具有尺寸小、精度高、响应速度快和成本低的优势。 *