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x线阵相位型SLM简介
1x12K线阵相位型SLM简介
专业源自专注 专注成就未来
Contents
SLM简介
SLM特点
SLM应用
SLM参数
SLM 简介
美国Meadowlark-BNS公司提供的1x12,288线阵相位型液晶空间光调制器是光束偏转与印刷系统的理想器件。这一器件运用了基于CMOS技术的标准液晶技术。基于CMOS结构的阵列为实现最先进的高分辨率光刻技术提供了有效的工具,由于其像素更小,从而能为光束偏转应用提供更大的偏转角度。此外,CMOS芯片上的电路大大简化了寻址,随机存取转向,任意波前控制等过程。
基于CMOS阵列的另一优点是其在半导体制造。已经实现了规模经济。当填充零扭曲相列(ZTN)液晶的时候,该器件可用作全编程的一维衍射光束偏转阵列。通过在阵列上载变阶的相位契形图,即可实现非机械式的光束偏转,其相当于一个可编程的衍射相位光栅。液晶光束偏转器的主要优点是无机械移动(因此没有光束指向偏差与不稳定的问题),随机存取指向,通光孔径足够大,光学头轻便并具有大规模制造以实现低成本的可能。
SLM特点
特点
高光学效率
无机械移动
高速相位控制
安全,低电压操作
用户界面友好
SLM 应用
应用
光束控制,
衍射光学,
超快脉冲整形,
光谱调谐/处理,
可编程相位栅格,
可编程振幅栅格
SLM 参数
型号:HSPDM12,288
像面尺寸:19.66x 19.66mm
设计波长:635-1550nm之间任选
衍射效率(零阶):90-95%(最大)
占空比:100%
工作窗口:工作窗口镀宽带增透膜Ravg1%( 450-865nm,600-1300nm,865-1650nm)
填充因子:100%
像素:1 x12,288(12,288个有效像元)
模式:反射式
偏转角:±4-7°
相位阶:2π相移500-1000线性阶(最小)
相位调制行程(双通):用户指定激光谱线,典型值2π
像元大小:1.0μm
反射波前畸变(rms):λ/10
反应时间:5-30ms
空间分辨率:TBD
开关频率:30-200Hz
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