NiCr灢NiSi传感器薄膜附着力测试与分析-表面技术.PDFVIP

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NiCr灢NiSi传感器薄膜附着力测试与分析-表面技术.PDF

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第 卷 第 期 年 月 表面技术 暋 41 暋暋 2 暋暋2012 4 暋暋暋Vol.41暋No.2暋Ar.2012 SURFACETECHNOLOGY p 暋暋109 崑 帇崑崑崑崑崑崑崑崑崑帇 崑 崑 标准及检测 帇崑崑崑崑崑崑崑崑崑帇 崑 NiCr灢NiSi传感器薄膜附着力测试与分析 1 2 1 2 2 , , , , 郑晓峰 曾其勇 李柱 吴凯 朱明 ( , ; 1.浙江机电职业技术学院 机械工程学院 杭州 310053

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