超高真空系统操作标准作业程序.PDFVIP

超高真空系統操作標準作業程序 一、注意事項 1. 根據實驗室規範 ，操作本系統前，必須取得合格操作人執照。 2. 為了增進抽真空效率，如非必要腔體應避免暴露於大氣環境 ，即使未進行實驗時也要讓腔 體維持在真空環境中（至少在10-3 torr 以下），如此將可大幅度縮短抽氣與baking 時間。 3. 不論進行任何動作，須隨時注意腔體內溫度與壓力變化，以避免造成設備損害，導致實驗 結果受到影響 。 4. 實驗結束後，應再次檢查各部儀器的電源是否已經關閉 ，並將工具和料件歸還 。 Figure 1. 1. LEED Controller ；2. 高壓電源供應器； 3. turbo pump Controller ； 4. 6030D電源供應器； 5. ion pump Controller ；6. 高電流電源供應器； 7. multi gauge ；8,9. ion Gun Controller 。 二、抽真空程序 ： 1. 檢查腔體內外的水路、氣線、flange 、螺絲以及鎢絲等各部元件與管線是否正常 。 2. 開啟scroll pump 電源，開啟scroll pump 氣動閥，開啟scroll pump angle valve 。