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2018-10-06 发布于天津
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蓝宝石衬底加工制程.pdf

什么是图形衬底是一项基于光萃取原理而新开发的技术以成长或蚀刻的方式在蓝宝石基板上设计制作出纳米级特定规则的微结构图案藉以控制之输出光形式并可同时减少生长在蓝宝石基板上之间的差排缺陷改善磊晶质量并提升内部量子效率增加光萃取效率现在很多磊晶工厂已经采用这项技术于生产白光蓝白光等高端产品这项技术需要更高的精度与更高质量的蓝宝石衬底我们把这种衬底称为图形衬底什么是不同图形状态下的光萃取率对比常规分离阵列矩形半球形萃取率萃取率萃取率萃取率倍倍倍关键字光萃取率什么是光萃取实验结果比较加工流程图晶棒检查气泡定

Application Process For PSS (Patterned Sapphire Substrate) AM Technology Co., Ltd The Leader of Abrasive Machining Technology Chapter 1 : 什么是PSS? PSS （图形衬底）是一项基于光萃取原理而新开发的技术，以成长(Growth)或蚀刻(Etching) 的方式,在蓝宝石基板上设计制作出纳米级特定规则的微结构图案藉以控制LED之输出光形式，并可同时减少生长在蓝宝石基板上GaN之间的差排缺陷，改善磊晶质量，

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