光学元件亚表面损伤深度的无损荧光检测方法-哈尔滨工业大学学报.PDF

第５０卷　 第７期 哈　 尔　 滨　 工　 业　 大　 学　 学　 报 Ｖｏｌ５０ Ｎｏ７ 　 　 ２０ １８年７月 ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＨＡＲＢＩＮ ＩＮＳＴＩＴＵＴＥ ＯＦ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ Ｊｕｌ． ２０１８ ＤＯＩ：１０．１１９１８／ ｊ．ｉｓｓｎ．０３６７⁃６２３４．２０１７０７０９１ 　 　 　 　 　 　 光学元件亚表面损伤深度的无损荧光检测方法 １，２ １ １ １ １ 侯　 晶 ，王洪祥 ，王　 储 ，王景贺 ，朱本温 （１．哈尔滨工业大学 机电工程学院，哈尔滨 １５０００１；２．中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川 绵阳６２１９００） 摘　 要：为了实现光学元件亚表面损伤的低成本、快速、准确检测，提出一种光学元件亚表面损伤深度无损荧光检测方法． 在 研磨和抛光加工过程中添加纳米荧光量子点溶液作为标记物，量子点受到激发光辐照后能够产生荧光现象，然后利用激光共 聚焦显微镜进行逐层扫描以获取被测样品不同深度处的切片图像，当扫描深度达到某一特定值时，荧光强度开始由强变弱， 通过特征点荧光强度的变化最终确定光学元件的亚表面损伤深度． 自行开发了亚表面损伤深度无损检测软件，检测软件具有 图像阈值处理、亮点自动识别、图像显示和曲线表征等功能，可以实现光学元件亚表面损伤深度的快速无损检测． 将无损检测 结果与损伤性检测结果进行了对比分析，结果表明两种检测方法相对误差在１０％以内，验证了提出的无损荧光检测方法的有 效性． 关键词：光学元件；亚表面损伤；无损检测；图像处理；磁流变抛光 － － － 中图分类号：ＴＧ１１５．２８ 文献标志码：Ａ 文章编号：０３６７ ６２３４（２０１８）０７ ００１７ ０６ Ｎｏｎｄｅｓｔｒｕｃｔｉｖｅ ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｃｅ ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ ｍｅｔｈｏｄ ｆｏｒ ｓｕｂｓｕｒｆａｃｅ ｄａｍａｇｅ ｄｅｐｔｈ ｏｆ ｏｐｔｉｃｓ １，２ １ １ １ １ ＨＯＵＪｉｎｇ ，ＷＡＮＧ Ｈｏｎｇｘｉａｎｇ ，ＷＡＮＧ Ｃｈｕ ，ＷＡＮＧＪｉｎｇｈｅ ，ＺＨＵ Ｂｅｎｗｅｎ （１．Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ Ｍｅｃｈａｔｒｏｎｉｃｓ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｈａｒｂｉｎ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏｆ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈａｒｂｉｎ １５０００１，Ｃｈｉｎａ； ２．Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｃｅｎｔｅｒ ｏｆ Ｌａｓｅｒ Ｆｕｓｉｏｎ，Ｃｈｉｎａ Ａｃａｄｅｍｙ ｏｆ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ Ｐｈｙｓｉｃｓ，Ｍｉａｎｙａｎｇ ６２１９００，Ｓｉｃｈｕａｎ，Ｃｈｉｎａ） － Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｎｏｎｄｅｓｔｒｕｃｔｉｖｅｄｅｔｅｃｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｏｆ ｓｕｂｓｕｒｆａｃｅｄａｍａｇｅｄｅｐｔｈｗａｓｐｒｏｐｏｓｅｄ，ｉｎｗｈｉｃｈｎａｎｏ ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｔ ｑｕａｎｔｕｍ ｄｏｔｓｗｅｒｅ ａｄｄｅｄ ａｓ ｍａｒｋｅｒ ｉｎ ｇｒｉｎｄｉｎｇ ａｎｄ ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ ｐｒｏｃｅｓｓ，ａｎｄ ｔｈｅ ｑｕａｎｔｕｍ ｄｏｔｓｗｅｒｅ ｅｘｃｉｔｅｄ ｂｙ ｌｉｇｈｔ ａｎｄ ｐｒｏｄｕｃｅｄ ｆｌｕｏ