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精密氩离子减薄仪 使用说明书 MODEL 691 PIPS 1 第一章 概述 双离子源 离子薄化是通过两个可调角度微型的Penning 离子枪。每枪的角 度变化为±10º，且相互独立，都可以精确会聚到样品上在可调节的 角度范围内。离子枪装有强的稀土元素磁体，从而可能达到高的减薄 速率。每个枪都安装在一种通用的接头上，从而通过 x 和 z 对中使离 子束对中在样品上，这些特性使得它可以在非常小的角度下减薄样 品，而同时只须很短的时间。 枪的优化设计 枪的离子光学有效地减少了阴极光阑的腐蚀，可以减少对离子枪 维护的次数以及离子枪对样品的污染。枪的消耗量也被减少。 立体显微镜 一台光学立体显微镜被用来检查减薄过程中任一时刻在工作位 置的样品来达到精确控制样品的最终减薄状态。这些性质对于绝缘体 和半导体特别重要，因为这些材料是光学透明的、干涉条纹技术能用 来控制样品在感兴趣的区域的厚度在±10nm 内。 2 Figure1-1 PIPS.前视图 1、左枪电流 2 、束能量(keV)/前级气压（ Torr ） 3、右枪电流 4、左枪气流控制 5、左枪气阀开关 6、右枪气阀开关 7、 右枪气流控制 8、室真空显示 9、MDP 指示灯 10、前级气 压指示灯 11、DP 测试按钮 12、循环终止重设按钮 13、主电 源开关 14、束状态指示灯 15、 离子束调节开关 16、角度状 态指示灯 17、 气锁放气指示灯 18、 气锁放气开关 19、离子 枪电压控制 20 、计时器开关按钮 21 、计时器设置按钮 22、 剩余时间显示 23、转速控制 24、样品升降控制 25、气锁抽 气开关 26、气锁真空指示灯 1-2