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- 2018-10-07 发布于河北
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压力传感器及其应用电路.doc
压力传感器及其应用电路
摘要:目前在工业生产中用得最广的压力传感器是硅压阻式压力传感器,它通过感触压力的
变化来改变其中的应变元件的电阻,从而输出相应的电压变化,实现将压力参数转变
成电信号参数。本文探讨了MPX2000系列压力传感器的应用电路以及MC33079型号运
算放大器在其中的应用的相关知识。
关键词:压力传感器;MPX2000;MC33079
引言
在工业测量中,压力的测量极为广泛,利用压力测量可以直接或间接测得很多物理参数,例如大型储液罐的液位、储气罐的压力、海洋的水深、山的高度,医疗方面可以测量血压、呼吸压等,航空方面测量飞机的飞行高度、飞行速度、升降速度以及气体管道流量等。但目前在实际中用得最多的是由膜片、波纹管、弹簧管和机械式传动、放大机构组成的指针式压力表。它的优点是结构简单、生产成本低,但测量精度低,如果要对压力参数进行遥测、记录或集中观察(监控)、自动调节或控制,则需要用到压力传感器,通过压力传感器将压力参数变成电信号输出。
一、硅压阻式压力传感器
压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应制成的器件,也就是在单晶硅的基片或硅杯上用扩散工艺、离子注入工艺或溅射工艺制成一定形状的应变元件,当压力传感器受到压力时,传感器中的应变元件的电阻发生变化,从而输出相应的电压变化。很多压阻式压力传感器是在硅膜片上制作四个等值电阻的应变元件,形成电
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