大高宽比硬斩射线波带片制作及聚焦测试.PDF

第 卷 第 期 光学精密工程 棽椀 暋 棻棻 暋 斨旓旍棶棽椀暋斘旓棶棻棻 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椃 棻棻 暋 暋 暋暋斘旓旜棶棽棸棻椃 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椃棻棻灢棽椄棸棾灢棸椃 大高宽比硬 射线波带片制作及聚焦测试 斬 棳 棻棽 棻 棻 棻 棻灣 棳 棳 棳 棳 李海亮 史丽娜 牛洁斌 王冠亚 谢常青 棬 棳 椈 中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室 北京 棻棶 棻棸棸棸棽椆 棳 棭 中国科学院大学 北京 棽棶 棻棸棸棸棿椆 椇 棬 棭 棳 棬 棭 摘要 为得到同步辐射光源硬 射线波段 需要的高宽比高分辨率波带片 本文利用高加速电压 电子 斬 椌棽旊斿斨 棻棸棸旊斨 束光刻配合 棳 斢旈 镂空薄膜直写来减少背散射的方法 对硬 射线波带片制作技术进行了蒙特卡洛模拟和电子束光刻 斘 斬 棾 棿 暎 椇 棳 实验 模拟结果显示 斢旈斘 镂空薄膜衬底可以有效降低电子在抗蚀剂中传播时的背散射 进而改善高密度大高宽比容 棾 棿 暎 棳 易引起的结构倒塌和粘连问题 通过调整电子束的曝光剂量 在 椀棸棸旑旐厚的镂空 斢旈斘 薄膜衬底上制备出最外环宽度 棾 棿 暍 棳 暎 棳 棳 为 金吸收体的厚度为 高宽比大于 的硬 射线波带片 同时 引入随机支撑点结构 实现了波带片结 棻椀棸旑旐 棻棶椂 旐 棻棸 斬 毺 棳 暎 构自支撑 提高了大高宽比波带片的稳定性 将利用该工艺制作的波带片在北京同步辐射装置 射线成像 束线 斬 棿