氧气流量对TiOx薄膜结构与光学特性影响.PDFVIP

第 41 卷第 1 期 中南大学学报( 自然科学版) Vol.41 No.1 2010 年 2 月 Journal of Central South University (Science and Technology) Feb. 2010 氧气流量对TiOx 薄膜结构和光学特性的影响 周继承，荣林艳，赵保星，李莉 ( 中南大学 物理科学与技术学院，湖南 长沙，410083) 摘 要：用直流反应磁控溅射法在未加热的玻璃基片上制备出晶态 TiO (x ＜2)薄膜，研究关键工艺因素即氧气流 x 量对薄膜的沉积速率、表面形貌、显微结构和光学特性的影响。研究结果表明：随着氧气流量增加，薄膜的沉积 速