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净化房管理作业标准
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LED净化房管理作业标准
1.车间洁净度控制介绍:
1.1.在液晶显示器生产过程中,对生产车间的尘埃粒子有着很高的要求,如果尘埃粒子过多会对产品的质量造成很大的影响,因此生产车间的洁净度控制是保证产品高质量生产的先决条件,车间的洁净度控制包括厂房洁净度的控制及生产中所有的人员、设备、材料、环境等等的洁净度控制,只有生产环境满足工艺要求,才能使生产正常进行,否则将无法正常生产。
2.净化房被污染的危害:
2.1.尘埃的污染在前制程液晶盒制造的过程中危害极大。液晶显示器是由于屏内的液晶材料在一定的电场变化条件下,发生液晶分子方向变化而形成显示图形的。可是液晶显示器的盒厚极其微小,只有5—8um(1微米=1/1000毫米)。而我们的头发丝的直径一般是几十微米,空气中能够看到的粉尘一般也是十几个微米以上,同时还有许多我们看不到的更小的尘埃,如十微米以下的尘埃。如果在做LCD时有一些看得见或看不见的尘埃、杂质在液晶盒制造的过程中落在液晶屏内,那么这些液晶屏就会被污染,造成显示器的缺陷。液晶盒在前制程的制造过程中,净化房的洁净度控制是至关重要的。
2.2.光刻工序中的涂光刻胶、曝光等工序如果有尘埃落在玻璃掩膜板上就会在显影、蚀刻中造成短路、断路、针孔、气泡等不良。尤其是在制做高档产品,其图形间隙较小时(如15—20um),只要略大点的尘埃或异物落在玻璃或掩膜板上,在光刻图形时就极有可能使图形出现显示异常,造成产品报废。
2.3.在PI涂布过程中或涂布后待高烤的产品,如果玻璃表面粘附上尘埃物,经过高烤固化后,尘埃物就被固化在PI层里面或表面将无法去除造成杂质、内污、大电流、交叉短路等不良致产品报废。
2.4.摩擦、丝印、喷粉、组合等操作过程中产生或产品本身所带静电,有静电存在的场所必将周围的尘埃粒子吸附于表面。粘附玻璃表面的尘埃粒子60%(如:喷粉后的玻璃、组合时 产生的)无法清洗或吹干净。无法去除的尘埃粒子造成(如:内污、油污、彩虹、毛屑、大电流、交叉短路)等不良致报废。
2.5.后制程液晶注入时尘埃污染就会造成电流不稳定。
3.污染的分类与来源:
3.1.人体的带入及产生:
3.1.1.人体的皮肤:人体每四天皮肤碎屑完全脱落一次,人体释放10000/分钟皮肤碎屑,平均大小30*60*30um。
3.1.2.人体的毛发:人体经常脱落直径为50—100um的毛发(如:头发、汗毛、睫毛、 眉毛等)。
3.1.3.唾沫滴液:含有钠、盐、钾、氯化物和食物微粒。
3.1.4.外用衣物:含微粒、纤维、硅石,纤维素及各种化学品,细菌。
3.1.5.人体静止,坐下或站立时产生100,000个直径≥0.3um的微粒/分钟。
3.1.6.人体运动时,身体各部位将产生1,000,000个直径≥0.3um的微粒/分钟。
3.1.7.人体以0.9m/s的速度行走时将产生5,000,000个直径≥0.3um的微粒/分钟。
3.1.8.化妆品(如口红、粉底、指甲油等):不应在净化室内使用,人体在运动过程中或在循环风的作用下,将产生大量的微粒和粉尘。
3.1.9.吸烟时,吸烟后30分钟内都可以产生大量的粉尘污染
据统计净化房中有80%以上的污染为人员带入,而控制因人为因素引起的尘埃污染为净化管理中的一个重要内容。
3.2.设备及物料的带入和产生:设备及物料为净化房的第二大污染源其比例约占净化房污染的10%左右。
3.3.环境未受控制产生的尘埃粒子:
3.3.1.环境压差、环境温、湿度未调至设置参数范围时。
3.3.2.回风窗百叶、顶棚高效过滤器作业中发生异常。
3.3.3.车间密封性不好,传递窗或风淋门对开等都会引响到环境的压差。
3.4.测量和方法:
3.4.1.测量尘埃粒子、环境压差的位置和方法时未按标准操作。
3.4.2.温、湿度表失效或未按规定位置摆放。
4.污染源的控制办法:
4.1.人体污染的控制:
详见《净化房进入管理作业标准》、《净化房管理作业标准》。
4.2.设备进入净化室的污染控制:
详见《净化房设备及物料管理作业标准》。
4.3.环境污染的控制:
4.3.1.在生产作业前由工程部设备人员将环境压差和环境温、湿度调至在工艺参数设置范围内,如有异常须及时改善。
4.3.2.定期检验回风窗百叶、高效过滤器是否正常状态下运转。
4.3.3.车间内进管、线路密封性差及时修补。车间内传递窗、风淋门一律不允许对开。
4.4.测量和方法导致污染的控制:
4.4.1.制定相关的测量位置和测量方法管理规定。操作员须严格按照管理规定进行作业。
4.4.2.温、湿度管理参照《前/后制程温、湿管理作业标准》作业。
5.
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