精密仪器与控制工作推动小组会议PrecisionInstrumentation-Semi.PDF

精密儀器與控制工作推動小組會議 Precision Instrumentation and Control SEMI 台灣高科技廠房設施委員會 2014/4/18 議程 召集人報告 討論  物聯網於高科技廠房之廠務應用  高科技工廠FMCS系統之資料收集與應用  其它 Precision Instrumentation and Control  Fab Technology - EMI - Microvibration - Airborne particle - AMC  Facility Data Logging and Processing Task Force (4) Precision Instrumentation and Control Page:3 Data Logging and Processing  Data Logging from FMCS  Management and Analysis of Data Identify Interpret Implement Task Force (4) Precision Instrumentation and Control Page:4 Data Logging and Processing  Perform better Preventive Maintenance  Improve Energy Efficiency  Plan and Schedule technician activities  Power Quality Monitoring Start Small and Grow a Methodology Gradually Task Force (4) Precision Instrumentation and Control Page:5 Energy management system model for this international Standard Task Force (4) Precision Instrumentation and Control 6 Power SCADA 系統功能特色與 廠務監控系統功 能差異及管理報 表功能說明 Present:李兆鈞 Power SCADA監視及控制相關設備  特高壓系統(69 KV /161 KV )  高壓系統(22.8 KV / 11.4 KV )  中壓系統(4.16 KV / 3.3 KV )  低壓系統 (480 V / 380 V / 220 V )  GIS 變壓器 冷卻系統(DI or Controler)  匯流排(ARC Relay)  斷路器 電容器 (APFR Controler)  CT / PT circuit 馬達 (Relay)  PT fuse 發電機 輔機系統 (油槽 ..)  保護電驛 DC CHARGE(DI or Controler) 電錶 UPS(DI or Controler) 通訊迴路(主機 設備通訊回路 ) 電力管理系统--POWER SCADA 功能摘要 “一個整合系統