氧分压对酝早掺杂在灶韵薄膜结晶质量与光学特性影响鄢.PDFVIP

物理学报摇 粤糟贼葬孕澡赠泽援杂蚤灶援摇 灾燥造援远园袁晕燥援猿 渊圆园员员冤摇 园猿远愿园源 氧分压对酝早掺杂在灶韵薄膜结晶质量和 光学特性的影响鄢 鲍善永摇 董武军摇 徐摇 兴摇 栾田宝摇 李摇 杰摇 张庆瑜覮 渊大连理工大学物理与光电工程学院三束材料改性教育部重点实验室袁大连摇 员员远园圆源冤 渊圆园员园年缘月圆远 日收到曰圆园员园年远月圆员 日收到修改稿冤 摇 摇 利用脉冲激光沉积技术袁通过改变沉积过程中的氧气压力袁在蓝宝石渊园园园员冤基片上制备了一系列在灶酝早韵合 金援通过载射线衍射尧反射和透射光谱以及室温和变温荧光光谱袁对薄膜的结构和光学性能进行了系统地表征袁分 析了工作气压对在灶酝早韵合金薄膜的结晶质量及光学特性的影响援研究结果表明院随着沉积环境中氧气压力的增 大袁在灶酝早韵薄膜的结晶质量下降袁富氧环境下袁与蓝宝石晶格平行的在灶韵 晶粒的出现是导致薄膜结晶质量下降的主 要原因曰相对于本征在灶韵袁不同氧气环境下沉积的在灶酝早韵薄膜的紫外荧光峰均出现了不同程度的蓝移援随着工作气 压的增大袁在灶酝早韵薄膜的紫外荧光峰峰位从猿郾猿苑源藻灾逐渐红移到猿郾猿猿圆藻灾袁氧气压力增加导致的在灶酝早韵薄膜中 酝早含量的减少是紫外荧光峰红移主要原因曰与在灶韵薄膜相比袁在灶酝早韵薄膜的紫外孕蕴光谱存在着明显的宽化现象袁 而且主要由两个荧光峰构成袁分别对应为束缚激子复合过程和局域激子复合过程曰在灶酝早韵薄膜中束缚激子的激活 能较大袁并随薄膜沉积环境中氧气压力的增加有逐渐增大的趋势援 关键词院在灶韵袁酝早掺杂袁脉冲激光沉积袁薄膜生长袁光学特性 孕粤悦杂院远愿援缘缘援葬早袁苑愿援缘缘援耘贼袁苑愿援远远援匀枣袁愿员援园缘援阅扎 子替位的随机性袁在灶酝早韵合金的低温紫外荧光峰存 员郾 引 言 在明显的宽化现象袁而且不对称咱员猿暂 袁与尖锐的本征 在灶韵紫外孕蕴 峰形成鲜明的对比援在灶酝早韵合金的紫 在灶韵是新一代域鄄遇族宽禁带半导体材料袁室温 外荧光峰的宽化现象在 酝早韵含量达到源葬贼豫时就 下的光学禁带宽度约为猿郾圆愿藻灾袁晶体结构为六方 相当明显袁已经不能直接指认出它们是由那些复合 纤锌矿结构袁激子束缚能为远园皂藻灾援作为以光电器 过程产生的援 目前袁有关在灶酝早韵 合金紫外荧光的识 件为应用目的的在灶韵材料研究袁通过选择掺杂元素 别还存在一定的争论咱员源暂援 及控制掺杂元素的浓度来调节 在灶韵 的禁带宽度是 本文利用脉冲激光沉积渊孕蕴阅冤技术袁通过改变 人们普遍关注的重点之一咱员要苑暂援用 酝早 原子来替代 沉积过程中的氧气压力袁在蓝宝石渊园园园员冤基片上制 部分在灶 原子形成在灶酝早韵合金袁可以导致在灶韵材料 备了一系列在灶酝早韵合金援通过载射线衍射渊载砸阅冤尧 的禁带宽度增加袁从而使在灶酝早韵合金在深紫外光波 反射和透射光谱以及室温和变温 孕蕴 光谱袁对薄膜 段光电器件以及在灶韵基量子阱中有着广阔的应用 的结构和光学性能进行了系统地表征袁分析了工作 前景咱愿要员员暂援 气压对在灶酝早韵合金薄膜的结晶质量及光学特性的 研究结果表明袁与本征在灶韵 类似袁在灶酝早韵合金 影响袁并且对紫外荧光峰的起源进行了探讨援 也有较大的激子束缚能袁约为缘园皂藻灾咱员圆暂 袁在室温的 条件下就可以观察到激子效应曰当酝早 的含量达到 圆郾 实验方法 猿猿葬贼豫时袁在灶酝早韵合金的室温光学禁带宽度达到 猿郾怨怨藻灾咱员暂 袁比在灶韵 的带隙猿郾圆愿藻灾宽约园郾苑藻灾援与 在灶 酝早 韵薄膜的制备是在 孕蕴阅鄄源缘园遭 型脉冲