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南京理工大学分析测试中心仪器设备展示 X射线光电子能谱仪(XPS)简介 1.仪器名称：全自动聚焦扫描微区光电子能仪(XPS) 2.产品型号：PHI QuanteraⅡ 3.品 牌：日美纳米表面分析仪器公司 4.产 地：日本 5.主要技术指标 系统到达真空 5×10-10 torr； Ag样品XPS光电子能量分辨率 Ag 3d 5/2 峰半高宽 FWHM 0.50 eV ； PET 样品XPS光电子能量分辨率 C 1s的O=C-O峰半高宽 FWHM 0.85 eV ； 最小X射线斑束9.0μm 在x方向；9.0μm 在y方向； XPS灵敏度 15kcps 10.0 μm 能量分辨率0.60 eV 离子枪最大电流 5.0 μA @ 5 kV ； 6.仪器使用范围 电子能谱仪可以对固体样品的表面元素组成进行定性和定量分析，还可以对样品表面原子的化学态及分子结构进行分析研究。利用氩离子深度剖析技术和角分辨XPS技术，可以获得样品表面不同深度的组成变化情况。利用小束斑X射线，可以对样品表面进行微区分析和元素及化学态成像分析。利用原位处理反应池，可在不同温度及压力下对样品进行不同气氛的处理，以获得实际使用气氛对样品表面组成及状态变化的动态影响信息。 适用于高分子材料、催化、电化学、半导体、金属、合金以及生物医学材料等。 管 理 员： 白华萍 X射线衍射仪（XRD） 一