镁钇合掺氧化锌薄膜制备与其性能研究.PDFVIP

37 1 ( ) Vol．37 No．1 第 卷第 期 中南民族大学学报 自然科学版 20 18 3 Journal of South-Central University for Nationalities (Nat．Sci．Edition) Mar．20 18 年 月 镁钇合掺氧化锌薄膜的制备及其性能研究 1，2 1 1 ， ， 钟志有 康 淮 龙 浩 (1 ， 430074 ;2 ， 430074) 中南民族大学电子信息工程学院 武汉 中南民族大学智能无线通信湖北省重点实验室 武汉 (ZnO) ， 摘 要 以镁钇掺杂的氧化锌 陶瓷靶作为溅射靶材 采用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了镁钇合掺 ZnO (MYZO) ． X ， MYZO 薄膜样品通过 射线衍射仪和分光光度计的测试表征 研究了薄膜厚度对 样品结构性质和光 ． :MYZO ， 学性能的影响 结果表明 样品均为六角纤锌矿型的多晶结构 并且其择优取向生长特性明显受到薄膜厚度 ， 290 nm ，MYZO (002) ． MYZO 的影响 当薄膜厚度为 时 样品具有 择优取向生长特性 另外通过光学表征方法获得了 、 ， :MYZO ZnO ， 样品的光学能隙 折射率和消光系数 结果显示 样品的光学能隙大于未掺杂 能隙 其折射率均表现为 ， Wemple-DiDomenico ． 正常色散特性 并且遵循 单振子色散模型 ; ; ; 关键词 磁控溅射 掺杂氧化锌 薄膜 光学性质 中图分类号 TM914 文献标识码 A 文章编号 1672-4321 (2018)01-0066-07 Preparation and Properties of Magnesium and Yttrium Doped Zinc Oxide Thin Films 1，2 1 1