原子制造与原子微系统-太赫兹科学与电子信息学报.PDF

第 14 卷 第 5 期 太赫兹科学与电子信息学报 Vo1．14，No．5 2016 年 10 月 Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology Oct．，2016 文章编号：2095-4980(2016)05-0793-07 原子制造与原子微系统：A2P 与强约束 集成微系统技术的结合 李 沫 a,b ，李 倩 a,b ，张 健 a,b* ( 中国工程物理研究院 a.微系统与太赫兹研究中心，四川 成都 610200 ；b. 电子工程研究所，四川 绵阳 621999) 摘 要 ：介绍了国外从原子到产品(A2P)研究，阐述了强约束集成微系统技术的微观架构及其 两“微”内涵。在此基础上，将 A2P 与强约束集成微系统理念相结合，提出了原子制造和原子微 系统概念，并初步分析了其科学技术框架体系。我们认为，原子制造和原子微系统技术是从“材 料到系统”的集成微系统技术向原子层次的进一步延伸和发展，主要包含如下内涵：a) 研究如何 开发先进工艺，跨越原子尺度到宏观尺度的制造鸿沟，使得从原子出发集成定制的宏观尺度产品 或系统能够保持优良的“原子级”特性；b) 研究原子层级微观特性在向宏观产品传递过程中的变 化的物理过程，讨论如何实现原子层次优良特性的选择性保留以及新特性开发，进而实现系统更 强功能及更高性能。原子制造和原子微系统技术具有很强的前沿性、颠覆性，有望为后摩尔定律 时代提供一条全新的技术途径，引发一场新的重大技术革命。 关键词 ：从原子到产品；强约束集成微系统；微观架构；原子制造；原子微系统 中图分类号 ：TN05 文献标识码 ：A doi ：10.11805/TKYDA201605.0793 Atom assembly and atom microsystem ：a blend of A2P and strongly constrained integrated microsystem a,b a,b a,b* LI Mo ，LI Qian ，ZHANG Jian (a.Microsystem Terahertz Research Center，China Academy of Engineering Physics，Chengdu Sichuan 610200，China； b.Institute of Electronic Engineering，China Academy of Engineering Physics，Mianyang Sichuan 621999，China) Abstract： Researches about Atoms to Product(A2P) are firstly introduced. Then the connotation of Strongly Constrained Integrated Microsystem(SCIMS) and its micro architecture are demonstrated. A new concept named atom assembly and