直接驱动XY平台轮廓误差分析与法向交叉耦合控制.PDFVIP

14 9 Vol. 14 No. 9 第 卷 第 期 电 机 与 控 制 学 报 20 10 9 E LE CT RI C MA C HI NE S A ND C ONT R OL Sep． 20 10 年 月 X Y 直接驱动 平台轮廓误差分析及法向 交叉耦合控制 ， ， ， 王丽梅 武志涛 孙宜标 金抚颖 ( ， 110178) 沈阳工业大学电气工程学院 辽宁沈阳 : X Y ， 、 摘 要 在直线电机直接驱动 平台中 负载扰动 机械延迟以及两轴驱动系统参数不匹配等因 。 H 、 (ZPETC) 素影响轮廓加工精度 采用 速度反馈控制 零相位误差跟踪控制 与法向交叉耦合控 ∞ ， 制相结合的策略对两轴的运动进行协调控制以提高轮廓加工精度 实现跟踪误差与轮廓误差的同 。H ， 。 时减小 ∞ 控制在速度环通过反馈作用消除负载扰动因素的影响 使系统具有较好的鲁棒性 ZPETC 、 。 ， 基于零 极点对消和相位对消提高系统跟踪精度 法向交叉耦合控制作用于两轴之间 将 轮廓误差作为直接被控量进行实时补偿控制， 。 有效地提高了轮廓精度并简化了控制器设计 仿真 ， 、 。 结果表明 所设计的控制系统具有较好的跟踪性 鲁棒性和轮廓精度 :X Y ;H ; ; ; 关键词 平台 ∞ 控制 零相位误差跟踪控制 轮廓误差 法向交叉耦合控制 中图分类号:TP 273 文献标志码:A 文章编号:1007－ 449X (2010)09－ 0063－ 06 Contour error analysis and normal cross-coupled control for direct drive X Y table WANG Li-mei ， WU Zhi-tao ， SUN Yi-biao ， JIN Fu-ying (School of Electrical Engineering ，Shenyang University of Technology ，Shenyang 110178 ，China) Abstract :Load di