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毕业设计（论文） 外文翻译 题 目 灯泡贯流式水电机组在 线振动监测系统研究 专 业 热能与动力工程 班 级 动 072 班 学 生 指导教师 2011 年 一种极低噪声振动监测系统 Friedel Gerfers1 Michael Kohlstadt1 Hanan Bar2 Thomas Northemann3 Markus Kuderer3 （1. Li-Peng Wang Intel Research Intel Corporation Santa Clara, CA 95052, USA Email: HYPERLINK mailto:friedel.gerfers@ieee.org friedel.gerfers@ieee.org 2. Technology Manufacturing Group Intel Corporation Jerusalem, Israel3. Alexander Buhmann, Yiannos Manoli Department of Microsystems Engineering Albert-Ludwigs University 79110 Freiburg, Germany） 摘要：本文介绍了一种基于压电加速度感应器式振动监控系统。常用的氮化铝加速度感应器是利用新型传感装置来提高电荷灵敏度，同时不会扩大应力集中敏感区域。此外，这种传感结构具有低离轴灵敏度，而且在高低平衡杠和传感梁之间具有较好的稳定性。实验结果证实新传感结构明显改善了加速度感应器的敏感性。测试电荷灵敏度是5.2pC / g，传感器加界面电子被测噪声流每降低670ng。 所设计的连续传感读出器是建立在带有斩波稳定器的CMOS（互补金属氧化物半导体）电荷扩大器的基础上，可以减少那些是1/ f的响音、直流电耗损和声音叠加。整个读数器系统的前端是用0.35μm 4M2P CMOS的加工方法加工而成，它的电压运行范围是±1.65V。整个开环读出器样式设计符合所有相关噪音和误差源。模拟直流增益，增益带宽和相角余量分别是90dB, 15MHz 和73deg.通过周期噪音分析显示热量噪声流远远低400ng/(4nV/,-,-Hz.)。 简介 自20世纪80年代，由于加速度感应器的引入，引起了学者们广泛的研究[1]，已经得到了许多应用,如在汽车和防御系统设备的应用。其中最主要的是压电加速度感应器申请振动状态监测与诊断的机器,它在低频段需要非常低的噪声流,因为在低频段，感应器方面产生很小的振幅[2]。 基于压电陶瓷加速度感应器微机电系统(MEMS)遥感已经被证实是一个具有吸引力的替代电容式传感器，因为活性材料的使用使其功耗降低。传感器读数器前端采用连续的读数装置以至于功耗较低，同时它固有噪声流较低，是由于放宽了放大器的要求和剔除了开关电容噪音干扰折叠特征的解决方案。此外,尽管减小氮化铝（AlN）电压常数, 最近证实，与电压换能器（PZT）和氧化锌（ZnO）加速度感应器相比，氮化铝（AlN）加速器显示了一种优越的信噪比率[3] ,[4]。以至于这种高性能、低功耗、低成本, 小型振动监测系统变得可行了。因此,这名极低噪声系统不仅需要在低于-μg /时增加噪声流高动态范围传感器，而且需要带有很低的电压和门电噪声流的界面电子[5]。后面编程时，两个构建模块是分开编址的。 图 SEQ 图表 \* ARABIC 1 据调查不同的传感机构具有优良的性能。他们的目的是有相同的共振频率和质量证明重量为公平比较。设计1和2使用了传统的梁膜结构[6]，装置3和4采用了锥形束设计。 II. 优化压电加速度感应器 我们的初步研究发现, 整个单块集成电路微分压电加速度感应器的设计基于氮化铝（AlN）薄膜和通讯操作指令（SOI）工艺设计和装配的[4]，[6]。对不同的设计进行了分析,与其他设计相比较,高度对称、方形梁结构（图1,图案I)和一个环形拓扑梁 (图1,图案II)都停止在一个振动块中心。接下来,通过优化设计，使加速度感应器的每个区域实现了最佳性能。除了动态范围有所改进外，通过降低输出轴敏感性的方法，使新设计更加可靠、在x - y方向硬度更硬，但不影响谐振频率和电荷敏感度。 优化压电加速度感应器装置的信噪比。压电式传感器的总噪音由等效加速性能噪音组成，如式(1)-(2)所示，主要由两个噪声来源:热机械噪音或布朗噪声(ˉa2 n,mech)和电热噪声（ˉa2 n,ele）[4]，