不同衬底温度生长La0.5Sr0.5CoO3.PDFVIP

第 28卷第 6期 红 外 与 毫 米 波 学 报 Vol. 28, No. 6 2009年 12月 J. Infrared M illim. W aves December, 2009 文章编号 : 1001 - 9014 (2009) 06 - 0410 - 04 不同衬底温度生长的 La Sr CoO 0. 5 0. 5 3 薄膜椭圆偏振光谱研究 1, 2 1, 2 1, 2 1 1 李文武 , 　李亚巍 , 　胡志高 , 　朱自强 , 　褚君浩 ( 1. 华东师范大学 极化材料与器件教育部重点实验室 ,上海 　200241; 2. 华东师范大学 电子工程系 ,上海 　200241) ( ) ( ) (LSCO )导电金属氧化物薄膜. X 摘要 :采用脉冲激光沉积法 PLD 在不同 Si 100 衬底温度下制备了 La Sr CoO 0. 5 0. 5 3 ( ) 射线衍射 XRD 分析表明 ,随着衬底温度升高 LSCO 薄膜的结晶质量增加 ,在 650 ℃和 700 ℃下制备的薄膜是具有 单一钙钛矿结构的多晶薄膜. 通过椭圆偏振光谱仪测量了 400 ～1100nm波长范围内该导电金属氧化物薄膜的光学 ( ) 性质 ,采用双 Lorentz振子色散关系及三相结构模型 A ir/LSCO /Si 拟合获得了薄膜的光学常数. 结果表明 ,薄膜的 折射率随着衬底温度的升高而减小 ,然而在可见 近红外波长范围内消光系数随着衬底温度的升高而增大. 这主要 与薄膜的晶化质量和导电性能有密切的关系. 关 　键 　词 :脉冲激光沉积法 ; La Sr CoO 薄膜 ;椭偏光谱 ;光学常数 0. 5 0. 5 3 中图分类号: TN204; TN206　　文献标识码 : A STUDY ON THE SPECTROSCOPIC ELL IPSOM ETRY OF La Sr CoO FILM S PREPARED AT