中国工程院新选院士校友简介.PDFVIP

2009年新选院士校友 用物理现象研究，并将研究成果应用于电 子材料SOI （Silicon-on-insulator）的 开发。在对离子注入SOI合成过程中的物 理和化学过程研究基础上，自主开发了一 系列将SOI材料技术产业化的关键技术， 建立了我国SOI材料研发和生产基地。在 载能离子束与固体相互作用以及离子束辅 助薄膜沉积技术研究方面，揭示了载能离 子作用下薄膜表面微结构、相组分、电子 学院上海冶金研究所 （现上海微系统与信