光电光电检测技术与应用 第5章.pptVIP

设光斑形状为弥散圆，在探测器四象限Ⅰ、 Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ上所占的面积分别是S1、S2、S3、 S4，光斑直径为d，光斑中心为O‘。光斑的光密 度均匀，光斑相对探测器中心O的偏移OO’＝ρ 可用直角坐标（x，y）表示。测量范围ρmax＜ d。将探测器各象限的输出信号按图连接，得到 输出信号电压的表达式为： 5-26） 上式中 K是和光束的直径与功率有关的变换系数。 和差电路的特点是测量灵敏度较高，非线性 影响较小，对目标光斑的不均匀性适应性较强， 适用于高精度的定位测量。但信号处理电路复 杂，需要进行多次和差运算。各环节性能的差异 会引起测量误差。 （2）直差电路 图5-36给出了直差电路的连接方法。器件 象限坐标线和基准线间成45°角安装。各象限 间的连接按对角线方向相减。 图5-36 四象限探测器的直差连接 测量装置输出信号的表达式为： （5-27） 该种方式的电路简单，但非线性和灵敏度 相对较低。 （3）象限探测器的几个缺点 ①需要分割，从而产生死区，尤其当光班很小时，死区的影响更明显； ②若被测光斑全部落入某个象限时，输出的电信号无法表示光班位置，因此它的测量范围、控制范围都不大； ③测量精度与光强变化及漂移密切相关，因此它的分辨率和精度受到限制； ④对于如大尺寸测量中空气扰动比较大的场合，由于光强随时都发生变化，所以测量精度不高，从而影响系统的跟踪精度。 5、PSD及其应用 （1） PSD的基本工作原理 PSD(Position Sensing Detector)是一种具有 特殊结构的大光敏面的光电二极管，它又称为 PN结光电传感器。 当入射光照射在感光面的不同位置上时， 所得到的电信号也不同，从输出的电信号中可 以确定入射光点在器件感光面上的位置。它的 积分灵敏度是与光敏层上受光斑点相对光敏面 中心的偏移位置有关 。 PSD可以同时进行多个光点测量。 （1）一维PSD的工作原理 图5-37(a)是一维PSD的原理图。 图5-37 （a）一维PSD结构示意图 一维PSD工作原理是基于横向光电效应，即一光 束入射到PN结上的M点时，除了产生结光生电动势以 外，还将在与结平行的方向上(横向)产生光生电动势， 产生的电荷量与入射光强成正比。在PN结两头配置两 个电极，就可以得到与光电压对应的光电流。图中M 点决定了均匀扩散层(P-Si)中AM段和BM段电阻的比例。 当有光照时，在无外加偏压时，面电极A、B与衬 底公共电极相当于短路，可检测出短路电流。设AM段 电阻值为R1，BM段电阻值为R2，R为R1和R2的并联电 阻值。光电流I0分别经过R1和R2，并由A和B流出，其 值分别为： I1＝I0R／R1 ，I2＝I0R／R2 (5-28) 假如PSD光敏面的表面电阻层具有理想的均 匀特性，则表面电阻层的阻值和长度成正比，有： I1／I0＝R／R1=(2L／-x’ ) /2L (5-29) I2／I0＝R／R2=x’ /2L (5-30) (5-31) 一般以AB的中点O为坐标原点，则入射光 点M的坐标为 (5-32) 式中，I1-I2与I1＋I2的比值线性地表达了与光点 的位置关系。它与光强无关，只取决于器件的 结构和入射光点的位置，从而抑制了光强度变 化对检测结果的影响。(5-32)式可写成 (5-33) 其中k为与PSD有关的常数。 （2）二维PSD的工作原理 ①工作原理