高温法珀应变传感器及其在应变天平中的应用-光学工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 签名： 日期： 年 月 日 关于论文使用授权的说明 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 摘 摘 要 万方数据 万方数据 摘 要 光纤传感技术是近几十年来发展迅速的崭新技术。由于光纤传感器的抗电磁 干扰、耐腐蚀、体积小、稳定性好、灵敏度高、容易复用和安装等优势，被广泛 用于航天、航海、石油开采、电力电网、医疗器械和科学研究等众多领域。我国 目前光纤传感器的产业化和应用方面还远远不能满足国民经济发展的需求，因此 加快和促进光纤传感器的应用产业化十分必要，同时对国内测试和监测领域的科 技化和智能化发展将起到一定的推动作用。光纤法珀高温应变传感器是是光纤传 感器的一个具体应用。目前已经提出和应用的光纤应变传感器价格昂贵、结构复 杂、体积大、安装复杂，因此不利于商业化生产。研究设计一种低成本、结构简 单、安装方便、灵敏度高的微型法珀高温应变传感器具有十分重要的现实意义。 本文基于该出发点，完成了大量的应用研究工作。 首先，本文分析了光纤传感在应变测量中的各种方案和原理，同时对诸多实 现方案、制作方法和解调方法进行了对比总结，提出了光纤法珀应变传感器的封 装新技术。并在体积、耐温性和灵敏度上提出了更高的要求和目标。 然后，在光纤法珀高温应变传感器的研制过程中，对加工制作、封装和粘贴 工艺做了大量实验研究工作；对传感器的灵敏度、线性度、稳定性、重复性和蠕 变等性能进行了测试分析；同时对光纤应变传感器的热输出误差进行了精确校准 工作。 最后，在国内首次将实验研制的耐高温光纤法珀应变传感器尝试应用于航空 航天风洞试验应变天平中，并做了大量的测试，测试效果令人满意。作为光纤传 感器应用领域的新延展，此次研究的光纤法珀高温应变传感器结构稳定、体积微 小，封装成应变计尺寸仅为 0.3 mm * 2.5 mm * 2.5 mm，并且灵敏度可达 0.0036 rad ???，测量精度达 0.0278 ???,线性度为 99.991%，能耐高温至 300℃，测 量重复性好，解决了传统的测力天平电子应变传感器温漂大、抗干扰能力差、高 温不稳定等缺点。 关键词：光纤传感器，应变天平，法珀干涉，温度校准 I Abstract Abstract 万方数据 万方数据 万方数据 万方数据 Abstract Optical fiber sensing technology is developing rapidly in recent decades, owing to its good corrosion resistance, small size, good stability, high sensitivity, easy to reuse, easy installation and other advantages, the optical fiber sensors are widely used in aerospace, marine, oil exploration, power grid, medical devices and scientific research areas. Chinas current industrialization and applications of optical fiber sensors are still far from meeting the needs of national economic development, thus speeding up the application and promotion of fiber optical sensors’ industrial is necessary , while play an improving role of the optical fiber sensors’ applications and industrialization. The fibe