薄膜电感器的设计与制备-材料物理与化学专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研 究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他 人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构 的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均 已在论文中作了明确的说明并表示谢意。 签名： 日期： 年 月 日 关于论文使用授权的说明 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 万方数据 万方数据 摘 要 摘 要 随着科技的进步和社会信息化程度的提高，无线通信技术正不断地向高频化 微型化方向发展。 电子系统的集成度越来越高，尺寸也越来越小，工作频率也越 来越高，要求各种电子与器件也要朝着小型化、高频化、高精度、高稳定性、低 损耗的方向发展。作为三大无源器件之一的电感器，在众多领域有着广泛的应用。 而薄膜电感器由于磁性薄膜的引入，可以有效的提高电感量和减小器件的尺寸， 并且有效地改善电感器的高频性能，它的出现为电感器的小型化、高频化开辟了 有效的途径，将成为未来电感器的主流，因此对薄膜电感器的研究成了当前的热 点之一。 本文首先简要地概述了薄膜电感器的国内外发展状况，分析了电感的基本理 论、主要性能指标和损耗机制，用软件 HFSS 对薄膜电感器进行了仿真研究，分析 了电感的各项参数以及材料的特性参数对电感值 L 和品质因素 Q 以及工作频率 fr 的影响，并对其进行优化，最后得出了电感的基本结构参数和材料参数。得出电 感的结构参数匝数 n=10，线条宽度 w=70μm，线条间隙 s=30μm，导线厚度 t=2μm， 线条长度 d=600μm，衬底电阻率ρsi10Ω?cm。 在仿真结果的指导下，选取 FeCo-SiO2 薄膜作为磁芯材料，根据实验室现有的 工艺条件，通过磁控溅射制备了薄膜样品，并对薄膜各项性能进行了研究分析， 得出最优化的薄膜参数。结果表明薄膜具有一定的各向异性和较高的饱和磁化强 度，薄膜易轴和难轴方向的矫顽力分别是 5Oe 和 8Oe，面内各向异性场大约为 55Oe；饱和磁化强度是 20.8kG，薄膜的自然共振频率约为 3GHz，电阻率是 1500???cm。 最后利用薄膜工艺、光刻工艺、刻蚀和电镀等工艺相结合，制作了薄膜电感 器，并对电感器进行了高频测试。通过分析，在 f=2GHz 处，电感的电感值 L 和品 质因素 Q 分别提升了 23%和 27%，FeCo-SiO2 磁膜的集成有效地提升了电感的整 体性能，从实验上得到了高性能的薄膜电感器。 关键词：薄膜电感，电感值，品质因素，软磁薄膜 I ABSTRACT Abstract Along with the improvement in the level of advancement of technology and social information, wireless communication technologies are constantly in the direction of miniaturization of high frequency. All kinds of electronic systems become more and more integrated, their frequency also become higher and higher. As one of the three main passive elements, inductor has been widely used in many fields. Based on the introduction of magnetic film, the inductance could be enhanced and reduce the size, the high frequency characteristic could be improved for the film inductor, which will be the mainstream in the future. So in nowadays, study of the film inductor has become one of the hotspots. In this paper, st