1. 超声冲击磨蚀加工型腔和轮廓 如图10.12,加工三维型腔或外廓,传统的作法就是采用复杂的成形工具(图a),但是设计和制作工具的成本较高,准备时间也很长。然而同样的型腔还可以采用简单工具通过轮廓轨迹加工来实现(图b),这就要求简单工具的加工轨迹必需与数控设备协同完成。这样还可以突破前述的加工体积和深度的限制。 2. 回转超声冲击磨蚀加工 图10.13是工具回转的超声冲击磨蚀加工原理图,它是传统超声冲击磨蚀加工的新发展的工艺形式,工具头相对于工件的回转速度达到每分钟5000转。这种新工艺主要用于加工玻璃、陶瓷、硬质合金、石英、氧化锆、红宝石、蓝宝石、氧化铍及一些复合材料。与传统的方式相比较,回转超声冲击磨蚀加工优势在于: ①能够获得更高的材料去除率,②更低的工具压力并适合于复杂形状的低刚度零件加工,而且通孔加工穿透时破损率更低,③更大的深径比,④加工小孔时,可以不间断地进行钻孔,从而节省加工时间,因为传统小孔加工都需要回退才能很好地排屑。 3. 切割 只要工具头做成片状,超声冲击磨蚀就可用于切割加工或切槽工作。也可以多个片状工具组合或捆绑在一起,可以实现多条槽逢的同时加工或切割,如图10.14。左图为工具组合,中图为切割单晶硅,右图是切割的陶瓷样件。 4. 工艺要点 采用固结磨具或刀具,相对于游离磨粒来讲它们的质量大,这对
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