压电叠堆泵驱动的新型直线马达-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １７ １ 　 Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．１ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００９ １ Ｊａｎ．２００９ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００９０１０１４５０６ 　 压电叠堆泵驱动的新型直线马达 １ １ ２ １ １ 唐可洪 ，阚君武 ，彭太江 ，朱国仁 ，高俊峰 （ 吉林大学 机械科学与工程学院，吉林 长春 ； １． １３００２５ ２．深圳大学 机电与控制工程学院，广东 深圳 ５１８０６０） 摘要：提出一种利用压电叠堆泵驱动的新型直线马达（简称压电液压马达），介绍了其系统构成及工作原理，并进行了理 论及试验研究。理论分析结果表明，压电液压马达的性能是由压电振子／泵腔／截止阀／液压缸的结构尺寸、负载及工作 频率等多种要素共同决定的，只有当相关要素合理配置时才能实现压电液压马达的预期功能。在其他参数确定的情况 下，当负载为其最大驱动力的二分之一时输出功率和能量最大。利用尺寸为 ４ｍｍ×４ｍｍ×８０ｍｍ的压电叠堆制作了 腔体直径为 ３０ｍｍ的压电泵，并对其直接输送流体及驱动液压缸时的流量、压力及功率等性能进行了测试与对比分析。 结果表明，采用直径为 的液压缸时，压电液压马达的最大速度、推力及功率分别为 ／、 和 。 １５ｍｍ １２．５ｍｍ ｓ３２Ｎ ９３ｍＷ 关 键 词：压电叠堆；压电泵；直线马达；液压缸 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ＴＨ３８ ＴＮ３８４ Ａ 　　 犖狅狏犲犾犾犻狀犲犪狉犿狅狋狅狉犱狉犻狏犲狀犫 犻犲狕狅狊狋犪犮犽 狌犿 狔狆 狆 狆 １ １ ２ １ １ ， ， ， ， ＴＡＮＧＫｅｈｏｎ ＫＡＮＪｕｎｗｕ ＰＥＮＧＴａｉｉａｎ ＺＨＵＧｕｏｒｅｎ ＧＡＯＪｕｎｆｅｎ ｇ ｊ ｇ ｇ （ ， ， ， ； １．犆狅犾犾犲犲狅 犕犲犮犺犪狀犻犮犪犾犛犮犻犲狀犮犲犪狀犱犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犑犻犾犻狀犝狀犻狏犲狉狊犻狋 犆犺犪狀犮犺狌狀１３００２５ 犆犺犻狀犪