半导体厂综合性废水节水实例—生物薄膜系统-台湾科学工业园区科学.PDFVIP

半導體廠綜合性廢水節水實例—生物薄膜系統 余浚薰 1 黃炳森2 徐富珍3 黃進安4 1 旺宏電子晶圓二廠廠務處水處理空調部 justinyu@.tw1 MasonHuang@.tw2 Omar@.tw 3 4 旺宏電子晶圓五廠廠務處水處理空調部CAHuang@.tw4 摘要 (NH OH) 、硫酸(H SO ) 、磷酸(H PO ) 、硝酸 4 2 4 3 4 旺宏電子以污染預防、持續改善及珍惜資源理 (HNO ) 、雙氧水(H O ) 、氫氟酸(HF) 、顯影液 3 2 2 念，長期致力於製程、空調、民生等用水進行水質 (developer) 、氫氧化四甲基銨(Tetra-Methyl /水量的檢討與投資改善，晶圓二廠設置已 1