多晶硅铸锭炉操作维护说明书修改版最终版dr3_iask.docxVIP

多 晶 硅 铸 锭 炉 操作维护手册 无锡开日能源科技股份有限公司 2011年3月 前言 本说明书是指导用户如何使用和维护多晶硅铸锭设备的重要资料，用户在使用多晶硅铸锭设备前一定要仔细阅读本说明书，并充分理解，以便使设备能够正常生产，同时提供了如何避免意外以及预计会产生的故障并提前解决的方法。在自动运行模式下，操作屏有密码保护，需要授权的操作工程师才能进入，可以干预或修改参数。高级参数的设定见附录。 本说明书包含如下内容： 安全措施及设备规格； 设备概述； 设备操作； 设备维护； 常见故障处理措施。 无锡开日多晶硅铸锭炉概貌 目录 TOC \o 1-2 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc298428111 1．安全 PAGEREF _Toc298428111 \h 5 HYPERLINK \l _Toc298428112 1.1安全符号及说明 PAGEREF _Toc298428112 \h 5 HYPERLINK \l _Toc298428113 1.2安全保护措施 PAGEREF _Toc298428113 \h 5 HYPERLINK \l _Toc298428114 2．设备规格 PAGEREF _Toc298428114 \h 8 HYPERLINK \l _Toc298428115 2.1设备的平面图 PAGEREF _Toc298428115 \h 9 HYPERLINK \l _Toc298428116 2.2 设备接口规格要求 PAGEREF _Toc298428116 \h 11 HYPERLINK \l _Toc298428117 3．设备概述 PAGEREF _Toc298428117 \h 11 HYPERLINK \l _Toc298428118 3.1 操作原理 PAGEREF _Toc298428118 \h 11 HYPERLINK \l _Toc298428119 3.2 系统构成 PAGEREF _Toc298428119 \h 12 HYPERLINK \l _Toc298428120 4. 操作界面 PAGEREF _Toc298428120 \h 14 HYPERLINK \l _Toc298428121 4.1 报警页 PAGEREF _Toc298428121 \h 14 HYPERLINK \l _Toc298428122 4.2 主视图 PAGEREF _Toc298428122 \h 21 HYPERLINK \l _Toc298428123 4.3 曲线趋势图 PAGEREF _Toc298428123 \h 24 HYPERLINK \l _Toc298428124 4.4 历史数据库查询 PAGEREF _Toc298428124 \h 28 HYPERLINK \l _Toc298428125 4.5 模式页 PAGEREF _Toc298428125 \h 30 HYPERLINK \l _Toc298428126 4.6 主参数和系统配置页 PAGEREF _Toc298428126 \h 30 HYPERLINK \l _Toc298428127 4.6 .1主参数页1 PAGEREF _Toc298428127 \h 31 HYPERLINK \l _Toc298428128 4.6.2 主参数页2 PAGEREF _Toc298428128 \h 31 HYPERLINK \l _Toc298428129 4.6.3 主参数页3—水温报警及加热报警参数设置 PAGEREF _Toc298428129 \h 32 HYPERLINK \l _Toc298428130 4.6.4 系统配置窗口 PAGEREF _Toc298428130 \h 32 HYPERLINK \l _Toc298428131 4.6.5 主参数温度-压力PID分区参数配置表 PAGEREF _Toc298428131 \h 33 HYPERLINK \l _Toc298428132 4.6.7 慢抽程序参数设置窗口 PAGEREF _Toc298428132 \h 33 HYPERLINK \l _Toc298428133 4.7手动操作 PAGEREF _Toc298428133 \h 34 HYPERLINK \l _Toc298428134 4.7.1 热偶仓检漏 PAGEREF _Toc298428134 \h 35 HYPERLINK \l _Toc298428135 4.8手动维护屏幕 PAGEREF _Toc298428135 \h 36 HYPE