旋转电极电解电火花切割玻璃微结构试验研究-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学精密工程 棽椂 暋 椂 暋 斨旓旍棶棽椂暋斘旓棶椂 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椄 椂 暋 暋 暋 斒旛旑棶棽棸棻椄 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椄棸椂灢棻棿棸椃灢棸椄 旋转电极电解电火花切割玻璃微结构试验研究 灣 棳 棳 刘 勇 魏志远 李松松 暋 棬 棳 棭 山东大学力学与机电装备联合工程技术研究中心 山东威海棽椂棿棽棸椆 椇 棬 棭 棳 摘要 针对高深宽比非导电硬脆材料 如石英玻璃和陶瓷 微结构的加工需求 对微细电解电火花切割加工方法进行了深 暎 棳 棳 椈 棳 入研究 首先 提出了使用旋转螺旋微工具电极的电化学放电切割方法 并对切割缝宽模型进行了讨论 其次 对旋转螺 棳 暍 暍 旋电极电解电火花切割加工工艺进行了深入的试验研究 试验研究了加工电压 脉冲频率 占空比和主轴转速这些关键 暎 棳 棳 暍 工艺参数对切割加工精度的影响 实验结果表明 缝宽随着施加电压和占空比的增加而增加 随着频率 主轴转速和进 暎 棳 暍 给速率的增加而减小 最后 通过优化后的参数成功加工出缝宽为 棻棾椀 旐的微缝阵列 复杂的封闭微结构以及深宽比 毺 暎 暎 达 椂暶棻的微图形结构 由此表明该方法是一种可有效加工高深宽比绝缘硬脆材料微结构的新工艺 椇 椈 椈 椈 椈 关 键 词 电化学放电切割加工 石英玻璃 旋转螺旋工具 高深宽比微结构 封闭结构 暋 暋 中图分类号椇 文献标识码椇 椇 棷 棻棿棸椃 斣斎椃棸棾暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻椄棽椂棸椂棶 斉旍斿斻旚旘旓斻旇斿旐旈斻斸旍斾旈旙斻旇斸旘斿斻旛旚旚旈旑 旓旀旍斸旙旙旐旈斻旘旓旙旚旘旛斻旚旛旘斿旙 旂 旂 旂 旝旈旚旇旘旓旚斸旚旈旑 斿旍斿斻旚旘旓斾斿旙 旂 灣 斕斏斦斮旓旑 棳 棳 旂 斪斉斏斱旇旈灢旛斸旑 斕斏斢旓旑灢旙旓旑