化学气相沉积TaNx障碍层之研究.PDFVIP

行政院國家科學委員會補助專題研究計畫成果報告 ※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※ ※ ※ ※ 化學氣相沉積TaNx 障礙層之研究 ※ ※ ※ ※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※ 計畫類別：個別型計畫 計畫編號：NSC 89-2215-E-007-043 執行期間：89 年8 月1 日至90 年7 月31 日 計畫主持人：葉鳳生 教授 清華大學電子工程研究所 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 □出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作