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单晶硅--培训课件资料教程.ppt
无 线 创 造 新 价 值 数据来源:iimedia 名称:单晶硅棒? 生长方式:CZ or FZ? 型号:P型或N型? 晶向:100或111? 直径:2英寸---8英寸? 位错密度(个C㎡)无? 电阻率:0.001-10000 Ω.cm? 纯度:6N--9N 单晶硅棒及半导体硅片系列 单晶硅棒 名称:单晶硅棒? 生长方式:CZ or FZ? 型号:P型或N型? 晶向:100或111? 直径:2英寸---8英寸? 位错密度(个/C㎡):无? 电阻率:0.001-10000 Ω.cm? 纯度:6N--9N 名称:硅片??生长方式:CZ or? FZ??型号:P型或N型晶向:100或111??直径:2寸---8寸??公差:±0.5mm?厚度:180-2000μm??公差:±10μm??位错密度(个/㎝2):无??电阻率:0.001-10000 Ω.cm??纯度:6N--9N 半导体硅片???? 单晶硅棒 名称:硅靶材? 材质:多晶硅? 纯度:5N--6N? 尺寸及公差:根据客户要求定制? 表面粗糙度:Rz 0.8μm 单晶硅棒及半导体硅片系列 圆形硅靶 名称:硅靶材? 材质:多晶硅? 纯度:5N--6N? 尺寸及公差:根据客户要求定制? 表面粗糙度:Rz 0.8μm 名称:硅靶材? 材质:多晶硅? 纯度:5N--6N? 尺寸及公差:根据客户要求定制? 表面粗糙度:Rz 0.8μm 方
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